ICP点火失败及原因分析

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1、-1-ICP点火失败及原因分析为了故障排查的方便，我把点火失败的原因归结为两大类：一．非ICP硬件故障（一）症状：1．每次都能点着火，但刚点着，就熄火。★2．蠕动泵转动就熄火。★★3．维持几分钟后又熄火。★4．有丝状放电，但形不成等离子体。★如果遇到以上点火不成功的现象，首先要从ICP外围因素入手。（二）可能的原因及判断：1．氩气不纯。如果是在更换完氩气后，才出现以上现象，一般情况下就是氩气的原因，重新换一瓶氩气，或将原来剩余的能正常点火的氩气接上再试。★★★2．外置冷却水不纯。如果几个月或更长时间没有更换冷却水，建议更换冷却水，水的纯度越高越好。★3．稳压电源工作不稳。可以跳过稳压电源，将

2、ICP电源接在稳压电源输入端测试。★4．进样系统安装不到位。根据要求重新安装炬管，并检查泵管是否卡好以及雾室内是否有积水。★★5．散热抽风量过大。根据安装培训时的要求，检查抽风量是否过大。★6．点火参数设置不正常。检查点火参数是否在正常的范围之内，包括功率，冷却气，辅助气，雾化气，泵速。如果以上原因都被排除了，接下来就要排查硬件故障。★二．ICP硬件故障（在已经排除了非硬件原因的前提下）（一）症状及原因判断：1．开机就有POWER（电源）报警，引起此故障的原因一般有两个：★（1）ICP主板与高压箱连接的数据线松动。★（2）高压箱故障。★★A．对于PROFILEICP，其POWER报警同时又有

3、可能是TEMP（温度）报警，判断的方法是从113-00113-1接口板上的J1端口的17脚测量TEMP对地电压是否为高电平(5VDC)；而对于PRODIGYICP，TEMP报警在连锁信息里就有显示；如果是TEMP报警，113-00109-1和113-00108-1都有可能出问题，判断具体是哪块板子的问题，首先测量两块板子上的温度开关是否断开，如果都没断开，再测量113-00109-1板上的数字地对模拟地的电压，正常值应该接近0VDC，如果两者之间的悬浮电压过高，就会导致TEMP报警，可能的原因是113-第1页共3页-2-00109-1板上的D3稳压二极管失效。★★B．如果开机仅仅是POWER

4、报警，最大的可能是113-00108-1电路板的问题；★2．点火时无丝状放电，也没有POWER报警，而且听不到点火模块高压脉冲放电的声音。★（1）点火模块122-00170-1失效。★（2）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★3．能听到高压脉冲放电的声音，偶尔能点着，但点火很困难，且点着瞬间能听到爆鸣声。★（1）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★（2）点火模块与点火线连接处或点火线有破损导致对仪器金属壳放电。★★4．能听到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER报警，仪器显示点火失败。★★★（1）灯丝驱动板113-00110-1无输出。★★A．灯

5、丝驱动板上的场效应管被击穿，同时与灯丝驱动板相连的380VDC线路上的3A保险也会熔掉。B．高压调整板113-00108-1上的L3电感断路。★C．灯丝控制板113-00115-1坏掉。★D．380VDC无输出，113-00109-1板上的5A保险熔掉或PFC模块不工作。★（2）6KV高压无输出。★★A．高压子板113-00107-1不工作，板上有二极管被击穿。★★B．高压调整板113-00108-1不工作。★C．380VDC无输出，113-00109-1板上的15A保险熔掉或PFC模块不工作。★（3）点火线上有灰尘且潮湿，导致高压脉冲对仪器金属壳放电。★★（4）大功率管灯丝断路。★5．能听

6、到高压脉冲放电的声音，无丝状放电，也无POWER报警，但仪器显示已点火成功。★（1）外置冷却水长久未换，或用10%HCL清洗后，没有将酸溶液冲洗干净，导致冷却水电阻过小，RF功率被冷却水分流。★（2）大功率管失效。★★摘掉高压负载，用高压棒测量，高压正常；加上高压负载，高压达不到2KV，而此时软件显示点火已成功。6．能听到高压脉冲放电的声音，但无丝状放电，且伴有POWER报警。★★★（1）灯丝驱动板113-00110-1无输出。★A．灯丝驱动板上的场效应管被击穿，同时与灯丝驱动板相连的380VDC线路上的3A保险也会熔掉。★★B．高压调整板113-00108-1上的L3电感断路★。C．灯丝控

7、制板113-00115-1坏掉。★D．380VDC无输出，113-00109-1板上的5A保险熔掉或PFC模块不工作。★（2）无高压输出，高压调整板113-00108-1故障。★第2页共3页-3-（3）有高压输出。★★★A．连接高压子板113-00107-1与高压过滤板113-00104-1的高压电缆有破损，导致对外壳放电。★B．高压过滤板113-00104-1上的滤波电容击穿，导致高压对地放电。★★C．振荡