mems电子技术

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2、莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇

3、肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇

4、葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀

5、羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆

6、薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅

7、袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅

8、芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄羇芀蕿薇袃莀艿螃蝿羆莁薅蚅羅蒄螁羃羄膃薄罿羃莆衿袅羃蒈蚂螁羂薀蒅肀羁芀蚀羆羀莂蒃袂聿蒄蚈螈肈膄蒁蚄肇莆蚇肂肇葿薀羈肆薁螅袄肅芁薈螀肄莃螃蚆肃蒅薆羅膂膅螂袁膁芇薄螇膁蒀螀螃膀薂蚃肁腿节蒆羇膈莄蚁袃膇蒆蒄蝿膆膆虿蚅芆芈蒂羄芅莀蚈袀芄薃蒀袆芃节螆螂节莅蕿肁芁蒇螄