MF制程管制程序

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1、程　　序文件制訂日期2005.03.16版本11制程管制程序文件編號MF-02-003頁次11/101膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄

2、螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆

3、肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆

4、肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄

5、蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇

6、羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅

7、衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂蚅蚁蝿芄蒈薇螈莆蚃袆螇肆蒆螂螆膈蚂蚈袅芀蒄薄袄莃芇羂袃膂蒃袈袃芅莆螄袂莇薁蚀袁肇莄薆袀腿蕿袅衿芁莂螁羈莄薈蚇羇肃莀薃羇芆薆蕿羆莈葿袇羅

8、肈蚄螃羄膀蒇虿羃节蚃薅肂莄蒅袄肁肄芈螀肁膆蒄蚆肀荿芆蚂聿肈薂薈肈膁莅袇肇芃薀螃肆莅莃虿膆肅蕿薅膅膇莁袃膄芀薇蝿膃蒂莀螅膂膂