lcd制造工艺流程(技术类)1.0

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1、本教材共2小时LCD工程部2006年7月25日LCD制造工艺流程(技术类)编写:罗永波审批:宋宇红1一、液晶显示器制造工艺流程液晶显示屏工艺（LCD）前工序（生产一部）整平、灌晶图形段定向段组合段切割灌晶后工序（生产二部）清洗、定向目测、电测贴片、包装21.1液晶显示屏制造工艺流程1.1.1前工序图形段涂胶前清洗PRCleaning涂胶PRCoating预烘PreBake曝光Exposure显影Developing坚膜PostBake蚀刻Etching脱膜Striping投料ITOInput3图案段工艺示意图玻璃基版UV光掩膜

2、版光刻胶玻璃基版光刻胶KOH显影液光刻胶导电材料光刻胶41.1.2前工序定向段TOP前清洗Cleaning涂TOPTOPCoating预固化PreCure紫外改质UVCure清洗Cleaning涂PIＰＩCoating预固化PreCureＴＯＰ主固化MainCureＰＩ主固化Mainure5定向段工艺示意图酸光刻胶玻璃基版玻璃基版导电材料定向材料定向材料61.1.3前工序组合段摩擦Rubbing摩擦后水洗RubbingCleaning丝印边框SealPrint框胶预烤SealantPre-baking喷粉SpacerSpray

3、er贴合Assembly摩擦Rubbing摩擦后水洗RubbingCleaning丝印银点SilverPrinting冷压HotPress热压固化HotPress7框胶定向材料点胶定向材料撑垫剂液晶盒组合段工艺示意图8投料ITOInputITO基板经拆封后，阻值、尺寸、厚度检查确认无误，以25pcs为一篮，装入Cassette中，准备基板清洗制程。9来料ITO玻璃主要的污染物为：灰尘，油脂等，一定温度的碱液对ITO玻璃有很好的清洗作用，高纯水清洗可去除溶于水的杂质及一些灰尘，同时还能够上工序的碱液去除掉，而超声波的清洗作用，在

4、于利用水分子在超声波的作用下发生振动摩擦，使玻璃表面粘附的杂质松动而脱落。水洗后的玻璃要进行干燥处理，方法为风刀吹去玻璃表面的水然后经过红外光烘箱干燥。玻璃基板的污物种类不同，针对不同的污物种类选择不同的清洗方式：油污类--------------有机清洗，紫外光清洗有机物--------------弱碱液清洗，等离子体无机物--------------弱酸，气流，喷淋残留微粒子------------超声，喷淋，气流注意事项：1．有机溶剂必须储存在阴凉的地方，不要靠近明火；2．易挥发且有毒性，使用时尽量少接触皮肤或者吸入体1

5、03．不慎着火，用沙，泡沫，二氧化碳灭火器灭火。清洗与干燥的工作原理：ITO导电玻璃进行洁净处理，ITO导电玻璃在其制作，包装，运输过程中很容易被灰，油脂等杂质污染，未经洁净处理的玻璃无法保证工艺的质量要求，而这些杂质是依靠静电吸附在玻璃表面，比较容易去除。A．有机溶剂去污原理：（去除油脂类物质）油脂不溶于水，但它可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有机溶剂，其中甲苯的去污能力最强，所以先用甲苯洗，但甲苯不能残留在玻璃的表面。因甲苯可溶于丙酮，可再用丙酮进行清洗，把残余的油脂清洗掉，同时甲苯也溶解，同样丙酮也不能够残留在玻璃表面，因丙酮溶

6、于乙醇，所以继续用乙醇进行清洗，乙醇可以与水相溶解，最后用大量的去离子水把乙醇溶解。因此清洗流程为：甲苯丙酮乙醇去离子水（有机化学中的相近相溶原理）B．洗洁精的去污原理：洗洁精（表面活性剂）能够使不相溶的液体成为乳浊液。通过此乳化作用将油脂包围在水中而形成乳浊液来达到去污作用，玻璃经过洗洁精去油污后，再依次用大量的自来水，去离子水冲洗就可以达到洁净玻璃表面的目的。C．干燥工艺原理：经过清洗后的玻璃，表面沾有水或者有机溶剂等清洗液，这将会对后续工序造成不良影响，特别是光刻工艺会产生浮胶，钻刻，图形不清晰等，因此玻璃必须经过干燥处

7、理。11涂胶前洗净PRCleaningPR前洗净机之工程目的在于去除基上脏点、油污、纤维以达到PR涂布最佳效果。12风刀吹干法：STN线上是一种高效省时的干燥玻璃表面的方法，用高纯水淋洗过的玻璃随生产线传送到风刀位置，由数个高压喷嘴把经过净化处理的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃表面，迅即吹干玻璃。超声波清洗：特点：速度快，质量高，易于实现自动化，特别适有于清洗表面形状比较复杂的工件，对声反射强烈的材料，其清洗效果较好。作用机理：通过超声空化作用，存在于液体中的微气泡（空气核）在声场的作用下振动，当声压达到一定的值时，气泡将

8、迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压的压力，破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中13涂胶PRCoatingITO基板经洗净后，通过光阻涂布机，将光阻均匀涂布于ITO基板上，以便进行下一制程。14光刻胶的配制：配比原则：既要使光刻胶具有良好的