开拓发展大抽速双级滑阀真空泵

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1、第46卷第6期Vol.46,No.6真空VACUUM2009年11月Nov.2009开拓发展大抽速双级滑阀真空泵1213于振华，刘兴善，胡焕林，张明达（1.合肥工业大学机械与汽车工程学院，安徽合肥230009；2.江苏海门海真真空设备有限公司，江苏海门226102；3.国家真空设备质量监督检验中心，辽宁沈阳110042）摘要：长期以来，我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战，标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品。实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低

2、噪声等一系列的问题，所以其设计制造给厂方带来很大麻烦。但是大抽速双级滑阀真空泵在使用上有很广泛的应用前景，本文介绍大抽速双级滑阀真空泵开拓发展的必要性和介绍研制成功的2H-150滑阀真空泵设计特点，并提出发展更大抽速的双级滑阀真空泵的必要性。关键词：滑阀真空泵；抽速；双级中图分类号：TB752+.2文献标识码：B文章编号：1002-0322（2009)06-0028-04Developingthehigh-pumping-speed2-stageslidingvalvevacuumpump1213

3、YUZhen-hua,LIUXing-shan,HUHuan-lin,ZHANGMing-da(1.SchoolofMechanicalandAutomobileengineering,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China;2.HaiZhenVacuumPump.Ltd,Haimen226102,China;3.SupervisionandTestingCenterofvacuumpump,Shenyang110042,China)Abstra

4、ct:TherewerelotsofdifficultiesandchallengesintheR&Dofhigh-pumping-speed2-stageslidingvalvevacuumpumpinChinaforlong,andthe2H-150pumpsofsuchtypeweresuccessfullyproducedover20yearsafterformulatingtherelevantstandards.Actuallythereasonswhythehigh-pumping-

5、speed2-stageslidingvalvevacuumsweresodifficultindesignandmanufactureweremainlytheproblemsofdynamicbalancing,controlof2-stageoilsupplyanddenoising.However,suchvacuumpumpshavegoodprospectsforwideapplications.ThenesessityofR&Dofsuchvacuumpumpsandthetrait

6、sofdesignofthesuccessfulllydeveloped2H-150pumpsaredescribed,aswellasthenecessityofdevelopingthe2-stepslidingvalvevacuumpumpwithhigherpumpingspeed.Keywords:2-stageslidingvalvevacuumpump;pumpingspeed滑阀泵由于结构特点，容量比旋片泵大得于简化操作，提高控制的可靠性。本文以设计研制多，由于滑阀真空泵可以在较差

7、的真空环境下成功的2H-150双级滑阀真空泵为例，介绍发展开长期工作，因此常常被用于大型真空设备上。拓大型抽速的双级滑阀真空泵的必要性，同时通过滑阀泵有单级和双级两种形式，单级泵的极限介绍2H-150双级滑阀真空泵进行双缸设计结构的压力在0.6~1.3Pa（关气镇），双级泵的极限压特点，提出实现在大抽速结构的双级滑阀泵双缸结力在0.06Pa。构动平衡的可能性，提出实现双级滑阀泵在低压强抽速≥150L/s以上的可以看作为大型滑阀时（2Pa）获得大抽速的可能性。同时提出简化结构泵。长期以来国内只有70

8、L/s的双级滑阀泵，但设计有利于单泵的启动和控制的可能性。是在使用上如果有大抽速的双级滑阀真空泵，在1发展大抽速双级滑阀真空泵的意义许多工业应用领域特别有利于简化真空设备的机组构造，有利于降低功耗，实现节能效果，有利长期以来我国对大型真空设备使用在一定收稿日期：2009-07-02作者简介：于振华(1979-)，女，广西壮族自治区岑溪市人，硕士，讲师。联系人：胡焕林，教授。第6期于振华,等：开拓发展大抽速双级滑阀真空泵·29·-2-2真空度的条件下（1~10Pa）广泛使用滑阀真空速