滑阀真空泵性能再探

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1、第48卷第4期Vol.48,No.4真空VACUUM2011年7月Jul.2011滑阀真空泵性能再探许涛，王琴斐，罗根松，祁显锋（浙江真空设备集团有限公司，浙江台州318000）摘要：本文对滑阀真空泵的性能作了进一步研究，提出了活动密封的新概念，研究了排气速度、排气流道大小和形状对泵的性能的影响，阐明了滑阀泵噪声机理研究中的又一个新噪声源———导轨对滑阀杆的撞击，分析了泵的噪声传播和屏蔽，讨论了减少摩擦功的途径。关键词：滑阀真空泵；性能；再探中图分类号：TB752+.2文献标识码：B文章编号：1002-0322（2011）0

2、4-0033-05RestudyonperformanceofrotaryplungervacuumpumpXUTao，WANGQin-fei，LUOGen-song，QIXian-feng(ZhejiangVacuumEquipmentGroupCo.,Ltd，Taizhou318000，China)Abstract：Theperformanceofrotaryplungervacuumpumpwasrestudiedsoastoproposeanewconceptofmovingseal.Theeffectsofthee

3、xhaustvelocityandthesize/shapeofexhaustpassageontheperformanceofpumpwereinvestigated.Itwasfoundthatthereisanewnoisesourcefortherotaryplungervacuumpump,ie.,thecollisionbetweenguiderailandslidevalverod.Withthenoisepropagationanditsshieldingdiscussed,thewaytodecreasef

4、rictionworkisanalyzed.Keywords：rotaryplungervacuumpump；performance；restudy经多年实践和研究，对滑阀真空泵的极限压经与国外同类泵油在双级泵上做对比试验，用力、抽气速率、消耗功率和噪声等主要性能有了MKS公司的薄膜真空计测得的真空度基本一致，进一步认识，提出了一些新的看法和观点，如排说明我国优质泵油的质量已达到国外同类泵油气流道形状和排气速度、排气阀弹簧的压紧力和的水平。而一级品和合格品则稍差一些，主要表浮动阀片、导轨对滑阀的撞击、滑阀对泵内壁的现在全压上

5、有一定差距，而分压则无多大差别。撞击、高低真空缸的间隙分配、高低真空缸之间在使用质量上，据用户反映，国产泵油抗乳化能的通道、以及进、排气管道等对泵性能的影响。至力稍差，油水不易分离，所以在抽除含有水蒸气于泵的振动与平衡因篇幅较长，拟另撰文论述。的气体时，泵一定要开气镇阀。1.2动密封1真空度通常指轴与油封之间的密封，首先是对轴上安滑阀真空泵的真空度应该首先是满足用户装油封处粗糙度的要求，要保证在0.4~0.8μm，高需要和保证稳定运行，通常用户很少在极限压力速时取小值。轴与轴套的表面硬度要求达到HRC下使用，所以我们不应该片

6、面追求真空度。泵的（55~58），轴与油封唇口之间必须保持一定厚度真空度主要取决于各密封处的密封程度和泵油的润滑油膜，它既起到润滑作用，又起到密封作的质量。用，所以油的清洁度要求很高，最好不要用泵内1.1泵油的质量的工作油。偏心是造成油封异常磨损，破坏油封泵油的质量包括泵油本身质量和使用质量，密封性的主要原因。偏心又可分为动态偏心与静我国自从SH/T0528-1992《矿物油型真空泵油》态偏心两种，动态偏心，也就是轴的跳动，是由于标准发布后，按该标准生产的优质泵油的质量，轴的振动和轴承的径向跳动所引起的轴的偏心收稿日期：20

7、11-04-29作者简介：许涛（1968-），男，浙江省台州市人，大学，高级工程师。通讯作者：罗根松，高级工程师。·34·真空VACUUM第48卷转动，一般不要大于0.15mm。静态偏心是由于些，噪声要高2dB（A）左右（后面另作分析）。必须油封座与轴之间的偏心或油封内、外圆的偏心所指出，分体导轨容易咬死，所以间隙要适当放大。致。两种偏心导致一个结果，使油封唇口对轴表面的接触压力分布不均，导致轴和油封产生偏磨损，造成内漏则影响真空度，造成外漏则向外漏油，所以应将偏心导致限制在一定的范围内，一般要求总偏心不要超过0.3mm。1

8、.3活动密封活动密封包括排气阀、溢流阀的密封和泵腔图1分体导轨间隙分布图2整体导轨的间隙分布内各相关零部件之间的活动间隙密封。Fig.1ClearancefitforpartialFig.2Clearancefitforintegralguiderailguiderail1.3.1排气阀、