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时间:2019-07-02
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1、单晶硅切片操作与技巧晶棒粘接与砂浆制备单晶硅切片操作与技巧切片工艺流程截断线开方滚磨平面磨粘接多线切割去胶清洗检验入库粘接工艺要点——流程粘接工艺流程单晶领用核对单晶号和随工单准备料板和玻璃板清洁料板和玻璃板准备和调整工装配胶粘接玻璃板加压固化检查玻璃板粘接结果清洁晶棒与玻璃板准备和调整工装配胶粘接晶棒加压固化检查晶棒粘接结果粘接工艺要点——主要原辅材料美国胶:湾泰AD1339AAD3905B日本胶:Q胶主剂固化剂玻璃板、料板、无水乙醇、卫生纸、胶杯等。粘接工艺要点——环境要求稳定的室温——25℃±2℃保证粘接剂和固化剂的粘度没有大的变化,
2、保证固化时间稳定。较低的湿度——≤65%保证粘接剂和固化剂中的含水率,保证粘接面的干燥。粘接工艺要点——准备料板和玻璃板平板要求:圆弧直径165mm的晶棒使用的玻璃板要求宽度111mm;圆弧直径150mm的晶棒使用的玻璃板要求宽度86±0.5mm,圆弧直径156的晶棒使用的玻璃板要求宽度96mm。玻璃要求双面喷砂,粗糙度240,倒角1.5mm。使用前将弯曲变形的玻璃板挑出不用;玻璃平整度小于0.2mm。粘接工艺要点——清洁料板和玻璃板将料板与基座用酒精擦拭干净后用螺栓紧固在一起(12Nm的力);再用酒精将料板的粘接面与将要粘接的玻璃板擦拭干净然后彻底干燥。擦拭后不能再用手或其它抹布
3、等物品接触粘接面。擦拭干净的标准为不在擦出黑色杂质为准粘接工艺要点——清洁料板、玻璃板和单晶单晶的清洁同料板和玻璃板无水乙醇擦拭——主要去处水分及灰尘、铁屑等杂质,去油污、胶液等有机物的能力弱。丙酮或石油醚擦拭——主要去除油污、胶液等有机物。由于丙酮或石油醚的挥发速率极高,挥发时吸热,使擦拭表面迅速降温,有可能在擦拭表面形成冷凝水。所以在清洁被大量油污或有机物污染的表面时应先用丙酮擦拭去除有机物再用无水乙醇擦拭去除水分。粘接工艺要点——配胶将主剂及固化剂按照1:1的比例进行混胶。将胶碗放在电子秤上,清零,称重主剂(黑色)15-20g,之后将电子秤清零,然后称重固化剂(白色)15-2
4、0g。注意配胶最大误差为0.2g(即称重15g主剂后固化剂的重量为14.8g~15.2g)。美国胶的配胶与日本胶相同。粘接工艺要点——粘接玻璃板将搅拌好的胶涂在玻璃板粘接面上,之后用双手捏住玻璃板两个侧面迅速反转,将涂胶面朝下放在料板上,并且玻璃板外侧边缘靠在粘接工装的定位螺栓上,左右滑动排除空气。用卫生纸蘸酒精将蹭在玻璃板上表面的胶擦除干净,查看玻璃粘胶面是否有气泡。将胶皮垫或卫生纸铺在玻璃板上方。上方放上2块配重块。察看胶是否从玻璃板底下挤出,如果没有挤出胶,需要人工在相应位置施压,将胶挤出。再次将玻璃板外侧边缘与粘接工装的定位螺栓靠齐。记录现在时间为粘接时间。在胶初步固化之前
5、将流到料板侧面的胶清理干净。在胶初步固化之后取下压在玻璃板上的重物,将料板搬走待彻底固化。粘接工艺要点——粘接晶棒将已经固化完毕的单晶托搬到粘接工装上,检查确认粘好的玻璃板与料板之间没有缝隙和脱胶的现象,用刀片划固化的胶,感觉坚硬,不柔软,玻璃板上无气泡,定为合格品。用直尺量出晶体最短的一面定为粘接面。用纸胶带在贴在玻璃和晶体倒角下方,用酒精将玻璃和晶体粘接面清洁干净,并充分干燥。配胶混胶用铲子将胶均匀的平抹在单晶粘接面上。将清洁过的单晶粘接面朝下,轻放在玻璃板上,外侧面与定位螺栓靠齐,单晶靠近把手的断面与晶托边缘对齐,在用清洁布蘸酒精或丙酮将蹭在单晶除粘接面以外部位的胶擦除干净。
6、粘接工艺要点——粘接晶棒将胶皮垫铺在单晶上方。取1块配重块压在胶皮垫上。察看胶是否从单晶下方挤出,如果没有挤出胶,需要人工在相应位置施压,将胶挤出。观察胶水在玻璃表面是否平整。再次将单晶外侧面与粘接工装的定位螺栓靠齐。记录现在时间为粘接时间,记录平板编号。在胶初步固化前揭掉玻璃板侧面和单晶周边的纸胶带。在胶初步固化后可以取下压在单晶上的重物,擦除多余的胶,将粘好的整个部分搬走待彻底固化粘接单晶——注意事项使用日本胶时配胶时搅拌30秒,之后涂胶必须在1分钟内操作完毕,否则取下玻璃板、单晶,擦拭干净料板和单晶重新配胶粘接。使用美国胶配胶时搅拌1分钟,之后必须在10分钟内操作完毕,否则取
7、下玻璃板、单晶,擦拭干净料板和单晶重新配胶粘接。注意配胶搅拌要完全搅拌充分、均匀,目测搅拌后的胶液及胶杯边缘、搅拌刀上的胶液呈现深灰色(日本Q胶)或淡紫色(美国胶),粘接20分钟至1小时内不要移动玻璃板或者单晶、单晶托,以免脱胶。配粘接剂AD1339A:AD3905B=1:1(重量比)或主剂:固化剂=1:1(重量比),误差小于0.2g。粘接单晶时,单晶要与靠近单晶托手柄的一侧在玻璃板上留出5毫米的距离方便线切割工序对刀。粘接后的胶不能接触水,不能加热,少搬动,避免碰击
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