依据规范书所载明之各废气风管数量尺寸与材质进行验收

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1、家奈米元件實驗室NATIONALNANODEVICELABORATORIES案號：NDL-C-101207頁數PAGE:7OF7購案名稱：10000級潔淨室之廠務廢氣配管國家奈米元件實驗室10000級潔淨室之廠務廢氣配管招標規範書本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFORMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.ANDSHAL

2、LNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCED,ORDISCLOSEDINWHOLEORINPARTWITHOUTPRIORPERMISSIONOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.家奈米元件實驗室NATIONALNANODEVICELABORATORIES案號：NDL-C-101207頁數PAGE:7OF7購案名稱：10000級潔淨室之廠務廢氣配管目錄頁次一、說明二、採購標的規範及數量三、未來擴充情形四、履約期限五、驗收標準六、保固本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非

3、由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFORMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.ANDSHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCED,ORDISCLOSEDINWHOLEORINPARTWITHOUTPRIORPERMISSIONOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.家奈米元件實驗室NATIONALNANODEV

4、ICELABORATORIES案號：NDL-C-101207頁數PAGE:7OF7購案名稱：10000級潔淨室之廠務廢氣配管說明本規範適用於國家奈米元件實驗室奈米10000級潔淨室之廠務廢氣配管規範，如有任何疑慮依業主解釋為準。1採購標的規範及數量1.1一般排氣4組(pump熱排至一般排氣主管)1.1.1使用端接頭NW40。1.1.2材質：SUS304螺旋風管。1.1.3管徑：主管150mm支管100mm。1.1.4pump熱排上方風門一組。1.1.5支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質。1.1.6

5、軟管長度500mm。1.1.7Pump出口需設置門型架固定，管路不得搖晃。1.2一般排氣1組(pump出口至一般排氣主管)1.2.1使用端接頭NW50。1.2.2材質：SUS304螺旋風管。1.2.3管徑：主管150mm支管100mm。1.2.4Pump出口上方風門一組。1.2.5支管與pump需以軟管銜接，軟管需為SUS304材質。1.2.6軟管長度500mm。1.2.7Pump出口需設置門型架固定，管路不得搖晃。1.3一般排氣1組(Gasbox至一般排氣主管)本文件為國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,

6、不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFORMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.ANDSHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCED,ORDISCLOSEDINWHOLEORINPARTWITHOUTPRIORPERMISSIONOFNATIONALNANODEVICELABORATORIES.家奈米元件實驗室NATIONALNANODEVICELAB

7、ORATORIES案號：NDL-C-101207頁數PAGE:7OF7購案名稱：10000級潔淨室之廠務廢氣配管1.1.1使用端接頭NW50。1.1.2材質：SUS304螺旋風管。1.1.3管徑：主管150mm支管100mm。1.1.4Gasbox出口上方風門一組。1.2一般排氣1組(PMexhaust至一般排氣主管)1.2.1使用端接頭NW50。1.2.2材質：SUS304螺旋風管。1.2.3管徑：主管150mm支管100mm。1.2.4Gasbox出口上方風門一組。1.2.5NW50接頭後銜接PVC軟管，軟管最

8、末端需接一組PVC2”球閥。1.2.6管徑：NW50。1.2.7長度4m。1.3一般排氣1組(LocalScrubber至一般排氣主管)1.3.1材質：SUS304螺旋風管。1.3.2管徑：主管150mm支管100mm。1.3.3LocalScrubbe出口上方風門一組。1.4製程排氣3組(pump出口至製程排氣主管)1.4.1使用端接頭NW50。1.4.2