SG培训资料公司培训资料

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1、www.jinkosolar.com全球领先的光伏一体化产品制造商和服务商浙江晶科能源有限公司电池制造二部PSG培训资料丑涛涛2010-11-22晶科能源有限公司www.jinkosolar.com目录一、PSG单多晶硅片表面化学腐蚀处理二、5S及工艺卫生、安全三、交接班内容目的1.规范操作作业，指导操作员的操作方法，操作步骤及操作注意事项。2.去磷硅玻璃主要反应方程式:SiO2+6HF=H2SiF6+2H23.A.磷硅玻璃的存在使得硅片在空气中表面容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减B.死层的存在大大增加了发射区电子的复合，

2、会导致少子寿命的降低，进而降低了Voc和Isc。原理利用HNO3和HF的混合液体对硅片表面进行腐蚀,去除边缘的N型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘。范围本指导书适用于硅片湿法刻蚀工序。职责1.所有操作人员都必须严格按照本档进行操作。2.在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。一、PSG单、多晶硅片表面化学腐蚀处理www.jinkosolar.com什么是PSG意为含有P、P2O5的二氧化硅。由于在扩散过程中干氧的通入，在硅片表面形成一层二氧化硅，在高温下POCl3与O2形成的P2O5后，部分P原子进入Si

3、取代部分晶格上的Si原子形成n行层，部分则留在了SiO2中形成PSG。PSG制绒流程作用内容：一、操作前准备：1.正确穿好工作服、鞋、帽，戴好口罩、手套（如图1）。2.工具要求：手套、四探针测试仪、酒精、下料盒、碎片盒、电子称。3.设备检查：a.槽体是否漏液。b.检查纯水、压缩空气是否正常，各工艺参数是否是工艺所要求的参数。c.检查外围冷却水温不能高于18度，进出水压差不少于3KG。d.检查排风是否正常。e.DI水流量每小时不低于1000L/h。f.检查各滚轴，水刀、风刀是否正常。手套酒精下料盒碎片盒电子称四探针测试仪图1操作

4、的工作流程一、1.在配槽结束后，返回主页面，（如图2）www.jinkosolar.com图2然后点击”手动停止”然后”YES”（如图3）。www.jinkosolar.com图32.手动停止后。点击自动启动按钮，开始投入生产。3.待生产结束后，进入主页面，点击相应的槽体，单击废液排放，然后点击启动（如图4）注意：3号槽和7号槽的浸泡去不会自动结束，需要在槽体排放结束后手动结束浸泡区排放。www.jinkosolar.com图44.待废液完全排放完之后，点击进入相应槽位，然后点击清洗。然后将停止点击启动。用水枪彻底冲洗槽体10

5、分钟，使槽体彻底清洗干净。5.在确定槽体清洗干净后，废液已经排放干净。然后点击相应槽位（如图5）检查配液参数，在确定配槽参数无误后，点击配槽，等待下班来交接班。www.jinkosolar.com图5二、上料1.从扩散传递窗拿出扩散后的硅片，检查确认数量。将确认后的硅片取出。2.用左手取适量硅片（一次拿片不得多于50片），右手轻轻捻开，逐片放到上料位的滚轴上（如图6）。注意轻拿轻放，做到放片时听不到声音。每道硅片之间距离应保持1CM（如图7）。图6图7www.jinkosolar.com三、清洗流程1.检查制绒槽温度（2.5—

6、3.5度），超出工艺规定范围时立即停止生产，待温度恢复正常后再投入生产。2.检查各槽风刀运行情况，确保硅片吹干（确认各槽出来硅片边缘无水珠，11#槽出来后正反面和边缘均没有水珠）。3.检查水洗槽水刀运行情况，确认喷淋效果，严禁水刀水流量过大，避免窜槽问题的出现。4.每批次称量硅片减薄量。（方阻上升2-6，减薄量控制在0.04-0.10g）5.检查绒面情况确保吹干硅片（硅片表面及后边缘无明显水珠）四、下料1.下料时，盯好机器，使硅片完整无误的进入片盒。目测硅片表面是否出现异常。如有异常，立即通知当班工艺。2.做完一批，正确填写好

7、流程卡交下工序（不能在外面停留太长时间，超过半小时后返工）www.jinkosolar.com二、5S及工艺卫生、安全一、5S：分别有整理、整顿、清扫、清洁、素养。整理-----1.将工作场所任何东西区分为有必要的与不必要的；2.把必要的东西与不必要的东西明确地、严格地区分开来；3.不必要的东西要尽快处理掉。4.正确的价值意识----使用价值，而不是原购买价值.整顿-----1.对整理之后留在现场的必要的物品分门别类放置，排列整齐。2.明确数量，有效标识。清扫-----1.将工作场所清扫干净。2.保持工作场所干净、亮丽。清洁-

8、----将上面的3S实施的做法制度化、规范化。素养-----通过晨会等手段，提高员工文明礼貌水准，增强团队意识，养成按规定行事的良好工作习惯。www.jinkosolar.com二、工艺卫生1.车间要保持清洁，地面不要有积水。2.每班下班前要进行卫生打扫，用吸尘器清理掉机器上