资源描述：
《正帆常源项目气体设备辅助系统设施需求》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、客户:河北常源光伏科技有限公司气体供应系统气体设备辅助设施需求说明1.系统概述本技术说明针对河北常源光伏科技有限公司气体系统工程气体设备配套辅助设施需求规格。依未来计划使用气体种类及相关规范，相关气体操作/控制区域如下：A.硅烷气体房B.氢气纯化房C.氢气气体房D.可燃性气体房E.储藏间(氧化性气体房)F.PECVD/VMB区G.监控室2.气体房设计及规划气体种类及容积房间分布气体设备分类1.硅烷气体房SiH4BSGS2.氢气纯化房H2Purifier3.氢气气体房H2Bundle4.可燃性气体房气体设备（GC/GR）5.储藏间(氧化性气体房)NF3BSGS/O2GR6.PECVD
2、/VMB区VMB/PECVDGasBox7.监控室气体监控系统特种气体分布储存气体当前工艺气瓶架当前放置房间分布化学性质/工艺气柜数量工艺气体种类1.硅烷气体房自燃性1SiH42.氢气纯化房可燃性H23.氢气气体房可燃性1H2CH4/1%PH3+H2%4.可燃性气体房可燃性/毒性4/0.5%B2H6+H2/Ar5.储藏间(氧化性气体房)氧化性/毒性1O26.PECVD/VMB区依气体种类H2,SiH4注：设备数量未包含吹扫气瓶架的数量。AllinformationhereinistheconfidentialpropertyofGenTechInternational,Inc.,u
3、nlessanothersourceisshown.Thisinformationissubjecttoreturnondemandandmustnotbedisclosedorreproducedwithoutpriorwrittenconsent.客户:河北常源光伏科技有限公司气体供应系统3.气体房辅助设施需求规格房间照明（略）气体房区域：考虑到夜间作业要求，建议照度大于200LUX。净化间：按照设计要求，照度应该大于200LUX。其他区域：考虑到夜间作业要求，建议照度大于150LUX。房间整体通风房间整体通风房间分布储存气体化学性质备注立方米/小时1.硅烷气体房自燃性>300
4、0控制盘面放置区域2.氢气纯化房可燃性>20003.氢气气体房可燃性不适合敞开环境4.可燃性气体房可燃性/毒性不适合敞开环境5.储藏间(氧化性气体房)氧化性/毒性>50006.PECVD/VMB区依气体种类不适合洁净室注：此通风量基于特气房间每小时换气10次考虑，气柜抽风量未计入。封闭式特气房需要设计如下：1）考虑到实际操作和气柜运行需求，特气房内需控制温度，建议10-40℃范围，可考虑增加空调送风或暖气装置；2）气体房需配置进风通道（自然或强制），通道加过滤网保持房间清洁。特气设备抽风（配套气体房区域）设备抽风房间分布抽风分类备注立方米/小时1.硅烷气体房自燃性不适合2.氢气纯化
5、房可燃性不适合总风量>50003.氢气气体房可燃性不适合NM3/H,使用双风机4.可燃性气体房可燃性>3000@-200pa独立抽风系统5.储藏间(氧化性气体房)可燃性不适合本期不考虑注：客户根据各气体房内需求预留设备抽风口。特气房内可燃性抽风可直排屋顶大气，建议风管材质为不锈钢螺旋风管。特气设备抽风（配套PECVDGasBox/VMB区域）AllinformationhereinistheconfidentialpropertyofGenTechInternational,Inc.,unlessanothersourceisshown.Thisinformationissubje
6、cttoreturnondemandandmustnotbedisclosedorreproducedwithoutpriorwrittenconsent.客户:河北常源光伏科技有限公司气体供应系统设备抽风房间分布抽风分类备注立方米/小时总风量>50001.PECVD/VMB区可燃性>4500@-150paNM3/H,使用双风机注：可燃性抽风可直排屋顶大气，建议风管材质为不锈钢螺旋风管。普通氮气GN2（略）压缩空气CDA（略）特气设备用消防水流量房间分布压力(Bar)气体设备预留接口(NM3/H)1.硅烷气体房自燃性不适合不适合2.氢气纯化房可燃性不适合不适合3.氢气气体房可燃性不
7、适合不适合4.可燃性气体房可燃性/毒性n.a.DN20球阀预留5.储藏间(氧化性气体房)氧化性/毒性n.a.DN20球阀预留6.PECVD/VMB区依气体种类不适合不适合气体设备用电力A.UPS电源(本期总需求220V,单相,15KVA，另考虑10KVA扩展预留)房间分布电源规格需求备注1.硅烷气体房220V,单相,,2KVA1路2.氢气纯化房220V,单相,,2KVA1路3.氢气气体房220V,单相,,2KVA1路4.可燃性气体房220V,单相,,1KVA3路5.储
