JC500型磁控溅射仪

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1、成都超迈机械有限公司联系电话：028-8842350313981907896邮箱：china-vacuum@163.com磁控溅射仪技术协议甲方：乙方：经双方经协商，一致同意本技术协议为双方之间签订的设备定做合同“磁控溅射仪”的附属协议，为上述设备定做合同的不可缺少之部分。一一一、一、、、供货设备供货设备供货设备供货设备1、设备名称：磁控溅射仪2、数量：壹台3、规格型号：CJC500型二二二、二、、、概述概述概述概述本设备是具有自主知识产权的超高真空磁控溅射镀膜机。主要具有以下功能：1、四个磁控靶,均为可调角度磁控靶，可实现共溅射，直流、射频兼容；均为向上溅射成膜；2

2、、四个靶可分别单独轮流溅射，也可以实现共溅射；3、满足合金膜、单层膜、多层膜、导电膜、非导电膜和反应溅射的需要。三三三、三、、、详细技术参数详细技术参数详细技术参数详细技术参数编号项目描述一主体1.形式全封闭框架结构，真空室为电机顶盖升降方式，与抽气室整体焊接；主机与电控柜之间安装金属线槽（主要连接电缆、电线、软水管和软气管均放入金属线槽,并有颜色等明确标识标明用途），并从主机与电控柜上方通过。成都超迈机械有限公司联系电话：028-8842350313981907896邮箱：china-vacuum@163.com2.真空腔体内腔尺寸为Ф500mm（直径）×400mm

3、（高）；采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料（304）,内表面作抛光处理，外壁作喷砂处理。箱体内衬不锈钢防污板（侧壁防污板厚度δ=1mm，室内下防污平板厚δ=1.5mm）两套（其中一套为备用），防污板为可拆卸式，在室体抽气口与工作室之间安装截流挡板，采用超高真空用氟橡胶和刀口金属密封。带一个CF100mm观察窗口，位于真空腔体正前方，采用超高真空用金属与玻璃可发密封。3.真空室门采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料（304），内表面作抛光处理，外壁作喷砂处理。4.主机骨架采用优质钢型材，焊接成，快卸围板表面喷漆处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动。5.

4、水冷却系统室体、真空机组、磁控靶等有断水报警锁定安全装置。6.控电柜采用并柜方式.一侧作为仪表安装柜,宽度为19英寸国际标准;另一侧作为电器元件安装柜,为前后开门大板式结构。控电柜内主要电器外购件均选用通过CE认证或ISO9001认证的生产厂商的产品。二真空系统－51.极限真空度6.67×10Pa（空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气）；－42.恢复真空大气至6.6×10Pa≤40min；(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)3.真空漏率停泵关机12小时后溅射室保持真空度≦5Pa；4.真空配置a)2XZ-15D型直联泵一台，抽速15L/s；（成都）b)FF-200/1

5、300型复合分子泵一台，抽速1300L/s，卧式安装方式；（北京）c)DN200CF超高真空气动插板阀一套、DN40低真空阀和前级阀各一套；（带电磁到位信号）d)真空连接采用304材料，各泵之间柔性不锈钢波纹管减震连接；e)溅射室放气阀壹只；f)分子泵抽气口处设置节流阀一套，控制溅射气氛。5.真空测量1)成都正华电子公司三路三显数字复合真空计壹套（两路电阻成都超迈机械有限公司联系电话：028-8842350313981907896邮箱：china-vacuum@163.com规，一路电离规）；对真空室和真空管道分别精确监控，带数据通讯；5-12)电阻规：ZJ-52T型

6、电阻真空规管，测量范围：1×10～1×10Pa；-1-63)电离规：ZJ-27型电离规，测量范围：1×10～5×10Pa；4）电阻规和电离规采用超高真空金属密封方式。6.真空操作有手动和程序自动两种模式。三、工件架系统1.工件架1、行星公自传结构，公自转独立控制；2、基片尺寸：可放置Φ75mm基片；同时可以安放7片；其中6片圆周分布，用于垂直溅射，另一片位于工件架正中，用于共溅射。3、基片转盘由电机驱动，可计算机控制公转工位及镀膜过程；4、工件架真空室顶部安装；5、工件架可以加负偏压-1000V；2.工件盘材料采用0Cr18Ni9不锈钢材料；3.工件架旋转转速3～30

7、rpm，交流变频调速，上驱动方式。工件盘轴向、径向跳动小于等于±2.5mm；驱动引入采用磁流体密封。四、烘烤系统烘烤方式基片加热炉一套，安装在室体底板上，正对基片，由下往上加热。加热器采用功率5KW钼皮加热器，最高加热温度600℃，温度控制采用热电偶闭环控制方式，配日本温控仪，仪表控制精度为600±1℃，控温方式为PID自动控温及显示；五、磁控溅射系1、四个Φ100mm磁控靶，安装于真空室底部，向上溅射成膜；统2、其中三个磁控靶可手动调节角度磁控靶，调节角度≥30°，用于共溅射；3、每只靶均可实现直流、射频兼容；4、每只靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的