中科院青岛能源所磁控溅射仪设备招标文件

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1、中科院青岛能源所磁控溅射仪设备招标文件（单位内部招标）一、说明1、本部分内容是根据招标项目的实际情况制定的。2、投标人必须仔细阅读本招标文件的全部条文。对于招标文件中存在的任何含糊、遗漏、相互矛盾之处，或是对于招标范围的界定和招标内容的要求不清楚，认为存在歧视、限制的情况，投标人应向招标人寻求书面澄清。3、本技术部分如果涉及到品牌、型号等，并不表明该标的被指定，而是仅供投标人参考，投标人所投报的货物只要性能、质量达到或超过都将被视为对招标文件作出了实质性的响应。4．招标完毕，招标人根据需要可能进行货物内容的增加

2、或减少，或者分批签定合同，但合同总额浮动范围不超过投标额的（+/-）10%。5、招标方将采用综合打分法进行评标。评审因素包括：评标价格、产品质量性能、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间。其中价格分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格分统一按照下列公式计算：投标报价得分=（评标基准价/投标报价）x30；*6、投标人应提供投标产品的详细技术资料（产品彩页说明），和企业简介、资质和荣誉等材料等。无技术资料的视为虚假应标，视同废标处理。

3、7、招标程序：1）投标方提交投标文件（密封，正本一套；副本四套，附电子版U盘）2）所内专家评标3）根据招标结果向中标人发送中标通知书8、招标方认定招标过程存在恶意围标或其他影响招标顺利进行的行为时有权废标重招。9、具体打分标准注：＃表示重要指标投标人制造商招标文件要求分值得分一、技术性能满分40分品质优良（技术指标完全满足招标文件的要求，各种技术参数、性能及服务质量优于招标文件要求）36-40分品质良好（技术指标满足采购文件的要求，各种技术参数、性能及服务质量与招标文件要求基本一致）29-35分基本合格（技术指

4、标基本满足招标文件要求，部分技术参数有细微偏差）24-28分技术指标主要参数不能满足招标文件要求，不合格0分二、加分部分满分15分1、对于已通过ISO9000认证的产品，对此投标人应提供相应成名文件复印件0-1分2、是否提供所有产品的原厂服务，并有原厂的书面承诺0-2分3、除以上基本指标外，具有特殊功能（须在投标文件中详细介绍），并经买方确认满足实际需求的每项加0.5分，最多2分0-2分4、买方确认关键性指标或配置优于标准项目，每项可加1分，最多4分0-4分5、设备技术水平、工程应用情况0-2分6、投标人近三年

5、来该投标产品业绩（以合同为准），每份1分，最多4分。0-4分三、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间满分15分符合招标文件要求，设备整体质保1年（增加1年，加2分，4分满分）0-4分交货验收时间（90天内），少于60天2分0-2分售后服务方案0-4分企业综合情况0-5分五、价格分30分总计满分100分二、技术要求货物名称、数量及要求：货物名称：全自动磁控溅射镀膜系统货物数量：1套设备描述：高真空全自动磁控溅射镀膜系统，在玻璃、金属、塑料等表面实现金属、无机、部分有机等薄膜的可控性制备，薄膜厚度从纳米级到微

6、米级可调，满足直径60mm范围内，薄膜不平整度小于5%，实现单溅射、共溅射及复合溅射。2.1技术指标（一）腔体、样平台、加热、旋转及送样：1、溅射室内抛光，底部开口，出入气路、真空计、放气阀等，并配有遮罩挡板，保护真空计，底部传动装置等；2、溅射室前（侧）开门，便于更换靶枪及靶材，预留观察窗，内置照明灯；3、靶枪（3只）上置，溅射角度（0-30°）、距离（90-130mm）可调，靶枪配独立挡板；4、底部为托盘旋转加热台，转速可调，温度范围室温-400℃，控温精度10℃；5、机械手送样（自动模式）；（二）真空系统

7、：1、溅射室极限真空优于9x10-5Pa，从大气抽至5x10-4Pa≤60min；2、溅射室漏率：关机12小时≤10Pa；3、真空计采用复合真空计或连续真空计；在溅射范围（0.1-5Pa）内稳定，准确，优先采用薄膜规；（三）电源系统：1、溅射直流电源，响应率＜1s，最大功率不小于300w，不大于500w，2台；2、溅射射频电源，AE，最大功率600w，兼容95%以上的靶枪；（四）靶枪：适配靶材尺寸φ76mmX5mm（3英寸），角度可调0-30°，带独立挡板；适配普通金属靶、陶瓷靶，2只；适配强磁靶（Fe、Co、

8、Ni等），1只；（五）气路系统：1、三路气体，氩气，氧气，备用；2、流量计控制精度和重复精度均优于1%；（六）控制系统断水，断气及断电保护设计，采用工业PLC控制器，西门子控制单元，工控机电气控制。2.2服务（1）卖方应配合买方的安装调试工作，提出所需的安装基本要求，如提出的安装要求不合理，而造成工程二次改造，卖方需承担责任，并根据安全和消防原则设计合理的设备空间布局；（2）在设备验收