世昂磁控溅射仪操作指南-修改[dxy]

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1、磁控溅射镀膜操作指南（世昂）（使用前务必仔细阅读）第一部分：实验之前的准备工作...................................................................................................21.1安全须知.......................................................................................................................21.2腔体清理：...................

2、................................................................................................21.3准备实验材料：...........................................................................................................3第二部分：磁控溅射操作流程.................................................................

3、......................................42.1开机抽真空步骤：........................................................................................................42.2送入样品步骤：...........................................................................................................62.3溅射过程：............

4、.......................................................................................................82.4样品取出步骤：.........................................................................................................132.5停止仪器.................................................................

5、....................................................14第三部分：维护与保养.................................................................................................................151第一部分：实验之前的准备工作1.1安全须知：1.在进入实验室之后，为保证实验人员的安全，实验步骤的规范，以及出于对仪器的保护，穿好实验服，戴口罩，手套，准备开始实验。2.进行实验之前，检查实验仪器是否处于正常状态，包括：a.查

6、看大型设备使用登记表，以及实验记录本，查看上次实验过程中是否有异常，上次实验日期及溅射材料。并做好使用登记。b.检查设备各线路、气路是否完好，供电、供水是否正常，各开关、阀门的位置有无异常，靶位是否正常，所有仪表电源开关处于关闭状态。c.检查真空室气路截止阀、充气阀是否关闭，检查真空室各接口螺栓是否拎紧。d.查看水冷机的水位及其与各部分，包括分子泵、靶位的接口是否牢固，检查有无漏水现象。e.查看Ar气、N2气气瓶是否处于关闭状态，查看气体余量。3注意事项：a.开机前检查各供水系统，各开关、阀的位置。b.所有操作要详细阅读相关说明书。c.实验过程中应时刻留意分子泵的运行状况。分子泵

7、停转后，应立即关闭冷却水，以避免泵内形成冷凝水。d.在实验过程中，如果发现异常，非专业不要擅自处理，应该及时和老师或相关人员联系，尽快解决。e.在镀膜完成后，磁控靶的冷却水不能立即停止，要等到靶表面冷却后再停止供应，防止靶被烧坏。f.在打开腔体时，注意通风，腔体内的气体对人体有害。g.由于溅射过程会使得腔体外壁积累电荷，所以不要赤手接触腔体外壁，防止静电伤害。h.未经允许任何人不得对仪器进行任何操作。特别注意：不能将电磁阀I（溅射室电磁阀）和电磁阀II（样品室电磁阀）同时打开，避