應用影像辨識於微步進平台之精密定位控制

《應用影像辨識於微步進平台之精密定位控制》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、2004第四屆精密機械製造研討會中華民國九十三年十一月十三日臺灣‧台北國立台北科技大學________________________________________________________________________________________________應用影像辨識於微步進平台之精密定位控制Precisionpositioningofthemicro-steppingstagewithvision-guidance12林志哲黃昱勳1大葉大學機械與自動化工程學系助理教授2大葉大學機械與自動化工程學系研究生E-mail:cjl

2、in414@mail.dyu.edu.tw摘要得工業上許多原本受限於製程的產品因科技的快速發本研究的目標在於使用三軸微定位平台搭配影像展而得以展開步伐。例如噴墨印表機的噴墨頭、新興伺服技術來建構一自動化定位組裝系統。利用影像伺科技生物晶片中的微流道技術以及微機電系統(MEMS)服技術，辨識出待測物之標記圓之座標位置，為提高等，都是拜科技發展所賜。若要上述種類的產品完成影像精度，並加入次像素的應用；再利用所判斷得到並且動作功能正常，所要求的組裝精密度皆要求在微之座標位置，導引微定位平台將待測物移動到正確位米(micrometer)，甚至是次微米級(

3、submicrometer)。如置，取代傳統人工定位組裝。此關鍵性微小化的零件從設計到成為商品出售的過程研究中，以壓電噴墨頭的組裝元件作為系統之組中，組裝即成了重要的一環。在如此要求高組裝精度裝對位測試之樣品，並透過市售開發軟體來整合平台的元件倘若透過手動組裝產品，勢必無法保持一定的定位系統以及影像辨識系統；透過粗定位以及細定位精密度以及良率；因此為提高組裝精度，需要搭配能來校正樣品之空間位置，並透過數學運算法則找出影夠達到自動化組裝精密設備的機組，方可使產品線加像與平台之相對關係、旋轉中心、校正參數等。透過速生產以及提高產品的良率。平台系統搭配

4、次像素之影像辨識系統，粗定位之辨識機械視覺(MachineVision)的功能就如同人類的眼精度可達到53.3µm，細定位的定位精度約可達到睛一樣。人類是以眼睛來擷取影像，經由大腦來分析、1.5µm。判斷所需要的資訊，再送出指令給其他部位動作；而關鍵詞：壓電噴墨頭，微組裝，微定位平台。機械視覺則是使用任何可以取得影像資訊的設備(如CCDCarema)來取得影像，透過電腦針對影像做分析以ABSTRACT及處理後，取得所需要的資訊，再透過不同功能的設備來達到所需要的結果。而機械視覺以及人工視覺的Withthemutualityoftheprecisi

5、onmachineryandMicroElectroMechanicalSystemtechnology,the最大差異性為人工視覺會由於個人行為的差異，無法positioningtechnologyhasplayedanimportantroleon連續有效率並一致性的判斷同樣物件，而機械視覺的thedevelopmentofprecisionmeasurement,功能則較無此困擾，可有較高效率的表現，確定判斷semiconductorprocessingequipmentandetc.Inthis基礎的一致性。thesis,avision-

6、servopositioningsystemwith本研究之目標乃透過三軸(XYθ)之微步進平台，於three-dimensionsisbuiltbythemicro-stepping影像伺服系統中，使用影像辨識系統搭配次像素來辨positioningstageandthevisionreorganizationsystem.識組裝待測物，藉由辨識結果來導引平台位移，達到Theautomaticassemblingtaskofthepiezoelectricinkjetsystemisaccomplishedbyusingvisionrecogn

7、itionand使用影像伺服技術來完成定位的目的。micro-steppingtechnologies;first,thevisionrecognitionsystemistorecognizethevisioncoordinateofthe2.研究方法positioningmark,andthenthevisioncoordinateofthepositioningmarkistransferredtotheCartesiancoordinate2.1影像擷取設備及組裝系統ofthemicro-steppingpositioningsystem

8、;finally,themicro-steppingpositioningstageisdriventoachievethe本研究針對影