CCD靶面与安装定位面夹角误差的光学检测方法

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1、第34卷第4期红外技术Vol.34No.42012年4月InfraredTechnologyApr.2012CCD靶面与安装定位面夹角误差的光学检测方法王志（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033）摘要：随着大尺寸面阵CCD需求增多，一些新研制的CCD产品中靶面与机械安装定位面有较大夹角误差问题，而CCD产品技术说明中不给出相应数据。介绍一种非接触式光学检测方法，并以实例从原理到操作方法及最后的数据处理作了详细的介绍。其作为新购置CCD产品参数的一种检测方法，避免了CCD与光学系统装调完成后图像虚实同时存在的问题。关键词：CCD靶面；

2、机械定位面；光学系统焦深；光学检测中图分类号：TH751文献标识码：A文章编号：1001-8891(2011)04-0213-04OpticalMeasurementMethodofAngleErrorbetweenCCDTargetSurfacesAndLocatingFacesWANGZhi(ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China)Abstract：Withtheincreasingdemandof

3、thelarge-scalearrayCCD,theangleerrorbetweenthetargetsurfaceandmechanicalinstallingsurfaceisratherbiginsomenewresearchedCCDs,butthereisnorelevantdatainCCDproductspecifications.Thispaperintroducesanon-contactopticalmeasuringmethod,detailedexplainstheprinciple,operationmethodanddatap

4、rocessingwithanexample.AsameasuringmethodfornewCCDparameters,thismethodavoidsconcurrenceofrealimageandvirtualimageaftertheopticalsystemwascompletelyadjusted.Keywords：CCDtargetsurface，machinelocatingface，opticaldepthoffocus，opticsmeasurement测过程是非常必要的。0引言1CCD靶面与机械安装面夹角对光学系统成自20世纪70年

5、代电荷耦合器件CCD问世以来，像的影响由于具有光电转换、电荷存储和转移的功能，在光电探测领域已得到了广泛的应用。目前CCD产品无论1.1CCD靶面与机械安装面的夹角是在电子学方面还是在机械封装方面都已是成熟技面阵CCD传感器作为一种光电转换器件,它以术，但随着大尺寸面阵CCD（像元1024×1024以上）集成度高、功耗小等优势在图像传感器方面有着广泛需求增多，厂家提供的一些产品中也存在问题，其中的应用。其主要由光敏单元、输入结构、输出结构、[1,2]之一就是CCD在机械封装过程中靶面与机械安装面窗口玻璃、机械壳体等组成。结构见图1。有较大的夹角误差，如将其

6、安装在大视场成像光学系作为高技术产品CCD经过多年的生产和制造工统的靶面上，会形成视场范围内部分靶面离焦，造成艺改进，已经形成了一整套严格的封装制作规范，单图像虚实同时存在，这是成像系统所不允许的。由于以靶面与其机械壳体安装定位面夹角这项指标来说CCD产品不给出相应数据，购置方也不做测试，往往其误差需控制在微米级。这样当以机械壳体安装面在是在光学系统装调完成后才发现问题，这会造成时间光学系统中定位CCD相机时，才可以保证靶面与主和效益上的损失。本文针对CCD产品靶面与机械安光轴有正确位置。装面夹角提出了一种光学检测方法，该方法可对CCD然而作为科学研究领域

7、用大面阵CCD图像传感器产品做无任何损害的非接触测试。对于那些短焦距大（1024×1024像元以上），国外正处于开发阶段，难免视场（焦深小于0.02mm）的光学系统用CCD，该检会在所研制的产品中出现一些问题，这里就包括收稿日期：2011-02-24.作者简介：王志（1963-），男，吉林长春人，副研究员，主要研究方向为精密光学仪器结构设计。213第34卷第4期红外技术Vol.34No.42012年4月InfraredTechnologyApr.2012测量原理图见图3。图1CCD结构示意图Fig.1CCDstructuresketchCCD靶面与机械安装

8、面夹角误差过大。1.2CCD靶面与机械安装面的夹角对光学系统成像图