光学面形误差的可变补偿检测技术

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1、分类号TB96学号14030018UDC密级公开工学硕士学位论文光学面形误差的可变补偿检测技术硕士生姓名卢劲丰学科专业机械工程研究方向精密工程指导教师陈善勇研究员国防科学技术大学研究生院二〇一六年十一月TestofOpticalSurfaceErrorwithVariableAberrationCompensationCandidate:LuJinfengAdvisor:ChenShanyongAdissertationSubmittedinpartialfulfillmentoftherequirementsforthedegreeofMastero

2、fEngineeringinMechanicalEngineeringGraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha,Hunan,P.R.China(November,2016)国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录摘要................................................................................................................................iA

3、BSTRACT......................................................................................................................ii第一章绪论.................................................................................................................11.1课题来源与意义.......................

4、.......................................................................11.1.1课题来源.................................................................................................11.1.2课题研究背景与意义.............................................................................11.2国内外研究

5、现状................................................................................................31.2.1可变像差补偿器研究现状.....................................................................41.2.2局部误差检测问题研究现状.................................................................71.3研究方案....

6、........................................................................................................81.4本文的主要研究内容......................................................................................10第二章高次非球面可变像差特性研究..........................................................

7、...........112.1高次非球面特性分析....................................................................................112.1.1高次非球面几何特性...........................................................................112.1.2高次面的光学像差特性..............................................................

8、.........152.2高次非球面透镜可变像差原理研究..................

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