拉晶工基本操作步骤

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1、卉欣光电拉晶工基本操作步骤一)拉晶的基本操作分为13个步骤,如下:1系统启动2清炉3装料4抽空检漏5化料6全熔稳定7引晶缩颈8放肩9转肩10等径11收尾12停炉及热后真空检漏13拆炉二)具体明操作⑴系统启动在系统启动时先通知机修工送电,待通电后打开控制柜电源并通知机修工检查单晶炉冷却水循环系统及氩气是否可以正常使用.打开控制柜电源后检查晶体转动升降和坩埚转动升降是否正常使用以及晶体上升及下降限位,坩埚上升及下降限位是否也调好.检查石墨件和籽晶钢丝绳重锤,钼拉头是否齐全⑵清炉①将炉内石墨件完好的取出②用砂纸和酒精纸将炉底打磨擦试干净③将真空泵抽空管道清理干净④将石墨件用砂纸

2、打磨用究竟纸擦试干净⑤按照取出的顺序反向依次安装注:炉底铜电极和石墨电极及加热器在安装时一定要清理干净避免打火.三)装料①将备好的料检查好后用装料车拖至需安装料的炉前②将托杆螺丝紧好③将炉底用吸尘器吸干净④通知师傅检查石英坩埚及石墨件⑤装料时将母合金先放置在石英坩埚底部⑥将大块料轻轻地放在底部排放整齐，尽量不要有太大的间隙，中块料及小块料用来填补间隙⑦在装到石英坩埚顶部时放下去的料与石英坩埚接触面尽量减少⑧在导流筒放下去后，7卉欣光电在导流筒中部将剩余的料装好，注意料在装时不要与导流筒接触⑨全部装好后封炉注：装料时请轻拿轻放，装好后炉筒上口、炉盖上口和副室仓门的橡胶密封皮

3、圈一定要装好，并用酒精纸顺一个方向擦拭干净。装料时，OCI的多晶必须全部装下，装剩下的料尽可能只剩下一种，装料前检查是否需要换油及是否有配件需要修理四）抽空检漏①封炉后将主室真空泵打开运行2~5分钟，打开主室泵球阀，先开1∕3处待真空泵抽至压力为-0.01再完全打开球阀②将真空抽至7pa以下到极限后关闭主室泵球阀进行检漏，要求3分钟泄露不超过1pa注：在抽空过程中，反复2~3次充氩气再关闭氩气抽空。如抽不下或泄露过大及时通知机修工修理五）加热化料①抽空检漏完成后将主室泵球阀打开充副室氩气，将压力维持在1.3×pa②打开加热器电源，切换到温度控制界面将功率加至30kw，半小

4、时后加至50kw，半小时后加至70kw,半小时后加至90kw（加热后将电流过低报警器和加热器异常报警器打开③在高温后，料化至差不多时将功率降至75kw，如有渣则掉渣，无渣就全部化掉注：加热时如有异常报警，及时找机修工修理。化料时如有挂边现象则打高功率至95-100kw并把挂边处停置与电极处烘烤，但时间不能太久，等挂边处熔化后降低加热功率并立刻把埚转开起，埚转转速设定为1~2转六）全溶稳定①在料化完后，将功率降至60-65kw②将埚位升至离导流筒与液面倒影未重合1~5cm处③将埚转升至8转，挥发30~60分钟，埚位为引晶埚位7卉欣光电注：如需测电阻，则在挥发完成后按照上次引

5、晶温度下降1000~1500个SP点，将晶转打开至12转，埚转打升至12~16转放平肩。注意，装料的公斤数和是否有大清炉，如公斤数不一样或大清炉后第一炉则需要重新找温度。测电阻加入姆合室后，将埚转打升至0转，晶转升至12转，使姆合金融化尽，将埚转打至12转，搅拌姆合金20分钟（如需再加则反复操作）七）引晶缩颈①将埚转打至8转，等1~2分钟待转速稳定后找引晶埚位。引晶埚位为导流筒与液面倒影重后上升18~22mm.B段为14~17mm②将埚转升至12转，等待1~2分钟待转速稳定后将籽晶降下与液面接触试温度，待温度合适后引晶③引晶要求，细晶直径不超过4mm，长度为150mm④引

6、晶到快要完成时缩颈，将光圈尽量收小后加肩八）放肩①引晶完成后，将拉速放至0.4cm/分钟，根据温度打开温校降温或关闭温校②放肩时观察肩变方则温度低需要关闭温校提高拉速，肩边部变圆发亮则温度高或拉速快，需要将拉速降低或将温校降低注：放肩时如温度不稳定，操作工必须跟踪观察，不准无人看管九）转肩①放肩至直径为169~171时转肩（具体根据直径要求及温度高低而定）②转肩拉速为3.5cm/分钟，将肩部整体提升待边部光圈出现后缓慢降低拉速，将光圈与肩部拉成直角后准备投自动③投入自动前先用炉盖左边的依尔跟控制仪调整好（依尔跟中心圈压在炉内晶体外部光圈，光圈在依尔跟中心圈1／3处）④打开

7、埚升电源，埚跟比电源，将晶体长度清零，温校清零，坩埚位置清零，拉速清零后在选择等径投自动注：95型单晶炉B段或C段投入自动后温校会累加，必须清零后跟踪观察7卉欣光电十）等径①转肩完成后，投入自动等径，每小时必须测量一次晶棒直径，如遇B段或C段控径不稳，则必须等到直径稳定后再离开②等径记录，在晶棒正常等径状况下，当晶体长度超过100mm，每小时准点做好记录，记录要求准确、准时，不得补填③等径过程中，拉晶工至少每20分钟必须要查看一次炉中运行状况注：在等径过程中，如遇到晶体变形、扭曲、控径不稳、埚位过高、晶体晃动等异常情况应及时向