氧化钒薄膜的脉冲激光损伤特性研究

《氧化钒薄膜的脉冲激光损伤特性研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、密级：中国科学院大学UniversityofChineseAcademyofSciences硕士学位论文研究所：年月讹弩IL／＼。15I3、冷沈IUllIII1[1111illllllllIIIIt111lY2381773ByHanWen—qinADissertationSubmittedtoTheUniversityofChineseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofOpticalEngineeringAcademyof

2、Opto-Electronics，ChineseAcademyofSciencesMay,2013关于学位论文使用权声明任何收存和保管本论文各种版本的单位和个人，未经著作权人授权，不得将本论文转借他人并复印、抄录、拍照、或以任何方式传播。否则，引起有碍著作权人著作权益之问题，将可能承担法律责任。关于学位论文使用授权的说明本人完全了解中国科学院光电研究院有关保存、使用学位论文的规定，即：中国科学院光电研究院有权保留学位论文的副本，允许该论文被查阅；中国科学院光电研究院可以公布该论文的全部或部分内容，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存该论

3、文。(涉密的学位论文在解密后应遵守此规定)签名：食搬艴孝挪罢期：印阿”关于学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下，独立进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含任何他人享有著作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均己在文中以明确方式标明。一条支静签一肌川·¨氧化钒薄膜的脉冲激光损伤特性研究摘要随着大功率激光器的快速发展，光电器件的激光防护体系研究已成为近年来的热门研究领域。本课题探讨了大功率激光脉冲对物质的损伤机理，利用二氧化钒(V02)

4、晶体材料的热致相变性质，探究V02薄膜的制备方法、相变性能及其对光电器件的激光防护阈值。本文从V02晶体特殊分子结构与光电特性的研究讨论出发，优化设计了VO：激光防护膜系的制备方法并对制备的V02薄膜进行表征分析。探讨了V02晶体材料的相变特性，对其相变前后的光学透过率进行了模拟运算与实验测量，并研究讨论了膜系掺杂对V02薄膜相变温度与光学透过率的影响。为评价V02光学薄膜在光电器件中的工作可靠性，搭建了可输出连续渐变激光能量密度的脉冲激光照射实验平台，并在实验平台中引入了利用ZEMAX光学设计软件优化设计的激光聚焦镜头。运用“1对1”

5、与“S对1”两种激光损伤测试手段进行激光辐射照射实验，采用线性外推法和测量计算法两种方法对实验结果进行了处理并得出V02薄膜在重复频率10kHZ，中心波长532nm，脉冲宽度15ps脉冲激光辐射下的损伤特性。关键词：激光防护，二氧化钒薄膜，损伤特性，光学设计ThepulsedlaserdamagecharacteristicsofV02f．ImABSTRACTHanWen·qinIOpticalEngineering)DirectedbvGuoXi·qingWiththerapiddevelopmentofhigh—powerlaser

6、s，laserprotectionsystemofoptoelectronicdeviceshasbecomeahotresearchfieldinrecentyears．Thistopicresearchesthedamagemechanismwhenhigh—powerlaserpulsesactonmaterial，withthespecialnatureofvanadiumdioxideⅣ02)crystalmaterials，ExploretheV02thinfilms’preparationmethod，properties

7、andlaserprotectivethreshold．ThisarticleisstartedfromthespecialmolecularstructureandoptoelectronicpropertiesofV02crystal，ContainstheoptimaldesignofV02filmpreparationmethod，AnalysisthesurfaceconditionsofV02film，analogcomputationandexperimentalmeasurementV02film’SOpticaltra

8、nsmittancebeforeandafterit’Stranslation．FortheevaluationofthereliabilityoftheV02opticalthin-film，builda