青岛福润德微电子企业产品简介

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1、青岛福润德微电子设备有限公司青岛福润德微电子设备有限公司QingdaoFurundeMicro-ElectronicEquipmentCo,.Ltd企业产品简介公司简介青岛福润德微电子设备有限公司青岛福润德微电子设备有限公司坐落在青岛市城阳区青大工业园，交通便利，环境优美,距离流亭国际机场仅五公里,现有厂房面积2000余平方米，固定资产800万元，共有员工50余人，工程技术人员10余人。是一批具有丰富技术经验和敬业精神的优秀团队所组成,是我国微电子专用设备定点生产厂家之一,中国半导体专用设备行业协会理事

2、单位,在国内外享有盛誉，为国家863计划做出重大贡献。青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前的主要产品有：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体及采用德国技术生产的涡街流量计，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立厂之根，和“以客户至上，质量第一

3、，服务无止境”的立厂之本，坚持产品设计和服务质量的持续发展，青岛福润德会不断创新，提高核心竞争力，以高品质的产品、优质的售后服务、合理的价格与新老客户真诚合作。青岛福润德微电子设备有限公司产品目录产品介绍-1微控扩散炉-----第4页产品介绍-2程控扩散炉-----第6页产品介绍-3氧化扩散炉-----第8页产品介绍-4气氛隧道炉-----第10页产品介绍-5真空合金炉-----第12页产品介绍-6真空退火炉-----第14页产品介绍-7井式真空炉-----第16页产品介绍-8LED合金炉-----第1

4、8页产品介绍-9LPCVD设备-----第20页产品介绍-10PECVD设备-----第22页产品介绍-11太阳能扩散炉---第24页产品介绍-12快速烧结炉-----第26页产品介绍-13氢气炉---------第28页产品介绍-14控制系统-------第30页产品介绍-15炉体-----------第32页产品介绍-16隔热环---------第34页青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-1---微控扩散炉扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火

5、、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。扩散炉技术指标：可处理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：卧式1—4管结构工作温度：200℃—1300℃恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃单点温度稳定性、重复性：≤±1℃/24h温度斜变：可控升温速率15℃／min，可控降温速率：5℃／min送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟、手动推拉气路系统：1—5路工艺气体／管气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计控制方式：工控机、触

6、摸屏青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-1---微控扩散炉青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-2---程控扩散炉扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。扩散炉技术指标：可处理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：卧式1—4管结构工作温度：200℃—1300℃恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／

7、24h温度斜变：可控升温速率15℃／min，可控降温速率：5℃／min送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟、手动推拉气路系统：1—5路工艺气体／管气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计控制方式：工控机、触摸屏青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-2---程控扩散炉青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-3---氧化扩散炉扩散炉性能特点：◆具有可编程的升、降温功能◆采用滤波器、屏蔽板等装置，有效解决电网、磁场的干扰◆windowsxp全中文视窗操作系统，可储存1000条曲线，每条曲线设置30步◆自动运行

8、中可暂停／继续运行功能◆智能升降温斜率控制功能◆PlD参数自整定功能，可存储多组PlD参数供系统运行调用功能◆系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)◆具有停电后断点继续运行功能◆点火方式：外点火、内点火青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-3---氧化扩散炉青岛福润德微电子设备有限公司产品介绍-4---气氛保护隧道炉主要用于集成电路、电力电子器件等在氢气、氮气、或氢氮混合气体的保护下进行焊接、封装、烘干等。主要技术