比利时微电子研究中心30年发展概析及其启示-胡开博

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1、第卷第期全球科技经济瞭望年月比利时微电子研究中心年发展概析及其启示胡开博，苏建南中国工业和信息化部电子科学技术情报研究所，北京摘要心从一心发展成为欧：比利时微电子研究中（用年时间，个地方性微电子研究中洲最大一、世界领先的产业共性技术研发组织出了，探索走条独特的可持续发展道路。在系统梳理发展历程的基础上，重点研究了研究方向、组织结构、研究模式、经费收支、人员构成、成果转化和地区作用，分析了发展成功的主要经验，包括：选择产业共性技术研究方向，构建稳定开放式研发平台，获得政府长期持续资助，开展广泛国际合作，采用利益共享的商业模式及坚持中立性原则等。借鉴的成

2、功经验，我国半导体产业需要像这种组织来聚合产业力量，增强产业活力；应采取典型的经济实惠模式应构建类似于的开放式产业共性技术研发平；台以实现，符合产业与市场规律的可持续发展的效果。关键词：比利时；微电子研究中心；产业共性技术；产业联合项目中图分类号：文献标识码：：比利时微电子研究中心（的全称为半导体制造工艺即大学校际年，选择了湿洗法和硅化物个微电子中心，是比利时弗兰芒地方政府响应鲁汶大工艺模块开展研究，随后，增加了光刻、学教授关于推动欧洲跨院校微电互连等完整工艺流程所需的模块，并在年建子研究合作的倡议，于年在鲁汶大学微电子成特征尺寸、晶圆尺寸的系的基础

3、上成立的一个非盈利性组织。年来，中试线。此后，工艺研究不断进步，平均“秉承一代研究开发超前产业需求年的微每年发展，如，、、、和”一究了电子和信息通讯技术的使命个年、、、和工，逐渐发展成为，分别研世界领先的国际化微电子研究机构，在半导体工艺艺。为开展工艺研究和验证，不断升级建设一工艺线领域创造了无数个世界第，为全球半导体产业技中试线），分别于、（也称先导术开发、成果转化、人才培养作出了重要贡献。和年，建成晶圆尺寸、和中试线’并且’在年开始改建用于晶圆究方■向的净化间，预计年完成。此外，从总结年科研历程，其研究方向主要世纪年代初开始研究双极型』聚焦于七大

4、领域。工艺，和年在平台上分别一—第作者简介：胡开博（男，工学硕士’工程师，主要研究方向为基础电子领域科技情报和软科学以及科技创新和战略咨询。收稿日期：——.调研报告实现了硅基工艺和锗的微系统。当前，研究重点是异质一间微系统实验室硅工艺。后因产业界投资不足，到集成技术，并建成。年，基本停止了的研究。太阳能电池在关键工艺领域—，直攻研光刻技术瓶分别于和年开始研究单多颈一条。年后，重点研究浸没晶太阳能电池和有机太阳能电池，先后建成式光刻和极紫外线光刻一，并于年最先实硅光伏中试线和条有机光伏中试线年进；一现线宽的极紫外线光刻，研究步扩展研究范围，开展薄膜太阳

5、能电池研究。；当前重点是光刻的两次图形化技术。还但技术路线成本较高，太阳能电池研究进展引入了高介电常数金属栅、桂化物、铜、低介电常缓慢。数材料等技术，用于及以下工艺。无线通信在封装领域，从年开始研究封装早在年，已开始关注无线通信技技术，年开发出倒装芯片技术，年提出术，主要研究数字基带、射频模拟前端、模数转换三维集成电路技术路线图，并在年研制出世器和系统集成。近年来，在通信芯片、收发一间封装机等方面取得了多项突破性进展促进了无线通信界首个三维集成电路。当前，拥有，与测试设备实验室。技术在工业无线局域网和消费电子领域的发展。此集成电路设计夕卜，为实现人类

6、随时随地获取信息，从从年关注集成电路设计，研究出年开始研究应用于智能环境的多模多媒体系统及专用集成电路一（系统自动设计技术端应用设备年后进，终，步研究无线自动转年开始研究软硬协同设计和密集型系统功耗换器解决方案和薄片内系统技术。当前，拥降低技术一，并分别于和年实现商业化。有间射频实验室。随着集成电路集成度日益提高，从世生物电子纪年代初关注系统芯片（设计，先后研从年开始研究生物电子，主要包究出专用指令集处理器、动态可编程嵌入式系统架括人体可穿戴传感器网络、生物电子混合系统等，构等一。当前，拥有间超大规模集成设计方年研究出头戴式脑电图动态监测系统。目一法

7、实验室一。前已建成间生物实验室和间神经电子，新材料与器件研究实验室。从世纪年代初开始研究电子自旋磁性半导体和铁电材料非易失性存储器，实现了多项突破性进展。随着宽禁带半导体展露巨大潜力，为非盈利性组织，没有股东，其组织结从年开始研究氮化镓材料与器件，构见图所示。最高决策层是理事会，为保证和年研制出世界首个和晶圆硅中立性，同时协调政府、大学和企业的关系，理事上氮化镓功率器件。年，涉足有机导电会成员由来自产业界、当地政府和当地高校的代表材料领域，主要研究柔性发光二极管显示技术。目组成，人数各占。邀请国际知名学者和企一建议前，拥有间材料与器件特性分析实验室、

8、业高管组成科学顾问委员会。，提供科技咨询—间有机电子实验室。理事会下设执行委员会负责具体管理工微系统作，执行