欧洲微电子研究中心imec简介

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1、欧洲微电子研究中心IMEC简介提起比利时的小城——鲁汶，从事半导体行业的人无不知晓。尽管鲁汶的市中心面积不足九平方公里，仅相当于北京天安门广场加上故宫的面积之和，就是这样一个小得不能再小的城市里却拥有世界著名的独立的微电子研究中心，欧洲领先的独立纳米技术研究机构——比利时弗拉芒校际微电子研究中心Inter-universityMicroelectronicsCenter(IMEC,2010年后改名为imec)。    1984年，比利时法拉德斯省政府出资6200万欧元创建了非营利组织IMEC，成立的主要宗旨在结合荷语区内各大学学术研究的力量，致力信息通讯系统发展所需的技术研究与开发，以下

2、一世纪的集成电路、封装技术、芯片设计和系统发展为研究重心，进而带动外围相关科技的发展，以因应电子科技产业界三至十年后的需要。时隔27年，IMEC早已成为欧洲最大的微电子、信息及通信的研发中心，已从原来不足70人发展到2008年超过1650人，2008年年收入达2亿7千万欧元。其实验室占地3600㎡、超无尘实验室占地6200㎡、电脑室占地10400㎡，为欧洲最大半导体制造及设计中心，其每年预算约为六百亿台币。实验室可以生产到0.25微米的积体电路。IMEC的重点在微机的部份，由其大型无尘室及晶片设计制造中心颇富盛名，其微机电的制造技术室采用传统的蚀刻技术，该组闻名的研究有视觉、加速度及压力

3、的感测器，尤其在比电路方面技术十分先进。    IMEC的研究活动主要是由三个技术单位所组成：制程技术(ProcessTechnology)单位包含了IMEC所有关于缩小集成电路尺寸(ICscaling)的研究活动；智能系统与能源技术(SmartSystemsandEnergyTechnology)针对无线通讯、自动化感应网络、生物医学手段、以及太阳能等各种领域开发创新性整合运用；生产与制程研究开发(FABandProcessR&D)单位统筹所有支持制程与工具的知识。   IMEC的研究广泛，目前主要研究领域包括：纳米电子尺寸（Scaling-drivennanoelectronics）

4、、异质整合技术（CMORE-heterogeneousintegration）、绿色无线电（Greenradios）、电子组件（Digitalcomponents）、光电技术（Photovoltaics）、生医电子科技（Human++-biomedicalelectronics）、神经电子学（NERF-NeuroelectronicsResearchFlanders）、生物电子（Organicelectronics）、无线自主转换器解决方案（Wirelessautonomoustransducersolutions）九大方向等。在半导体方面，以0.13至0.07微米CMOS制程整合技术为

5、主要重点，其中包含了193和157纳米光刻技术、高介电质栅极(gatedielectric)材料、铜导线及低介电质材料开发。CMOS组件微小化有助于未来系统单芯片(systemonchip,SoC)的开发。在微波组件上，SiGeBiCMOS模块也是开发重点，此模块适用于数字模拟混和信号(analog/digitalmixedsignal)电路，并对于无线通信相关之应用有很大的影响。在非挥发性内存(non-volatilememory)上，铁电材料内存(ferroelectricmemory)为主要研究重点，今天IMEC已成为欧洲最大非挥发性内存研究中心。至于在材料、组件及封装方面，则希望

6、其技术发展能符合未来市场的需求、提供微系统及高产出的解决方案，并朝向太阳能领域发展。而在芯片方面，虽然芯片的未来发展难以预测，但IMEC仍致力于研发芯片科技和各个实用领域结合的可能性，影响将遍及健康、经济、能源、环境等层面。    与其他国家相比，研究机构创立之初都可以从政府得到大笔的经济资助，而比利时政府预算有限，最初投入只有6200万欧元。在2007年3月IMEC与政府签订的最新协议中，法拉德斯省政府在2007-2011年间向IMEC提供总计2亿1千万欧元的资助，而这五年间IMEC的总预算已超过12亿欧元，相差的近10亿欧元全部要靠研发收入获得。正是由于这种紧迫感，促使IMEC的研发

7、项目与产业发展紧密结合，创造出与企业合作、共同开发、共享研发成果的独特商业模式。    研发成本随着线宽的不断缩小而呈非线性地急速上升，任何一家公司独立来承担研发费用已变得越来越困难，因此越来越多的公司开始寻求外部资源，而IMEC的模式正好迎合了市场的需要。IMEC以这种与企业合作、共同研发的商业模式，与合作伙伴共同分担研发成本与风险，并提供给每一个合作者所需要的研发成果，以满足他们未来技术的开发，并实现利益最大化。   IMEC除