闭合场非平衡磁控溅射离子镀实时监控系统的软件设计

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1、西安理工大学硕士学位论文闭合场非平衡磁控溅射离子镀实时监控系统的软件设计姓名：郭庆吉申请学位级别：硕士专业：检测技术与自动化装置指导教师：孙强20050301摘要闭合场非平衡磁控溅射离子镀实时监控系统的软件设计学科名称：检测技术与自动化装置导师姓名：孙强（教授）签名：作者姓名：郭庆吉签名：答辩日期：2005年3月摘要本文主要论述在LabVIEW编程环境下，设计并实现UDP（UniformDepositionandPlasma）实时监控系统（即闭合场非平衡磁控溅射离子镀系统）的上位机监控应用软件。介绍了计算机

2、监控系统的构成及设计原则，在此基础上，通过对磁控溅射离子镀系统的工艺原理和监控对象的分析，提出了实时监控软件系统的总体设计方案，并进行了软件功能的归类分析。在上述基础上对实时监控系统进行功能模块划分和设计，实现了友好的人机交互、简单直观的工艺流程监控、工艺趋势显示、工艺参数设置和安全可靠的故障报警处理等主要功能。通过系统研究LabVIEW平台的关键技术，提出了基于LabVIEW的多任务调度策略，讨论了三种调度策略的设计方法和具体实现，提高了主处理机CPU的工作效率，确保了系统中多个任务的正常执行；此外，通过

3、比较几种LabVIEW中数据库访问接口的优缺点，提出了利用LabSQL访问数据库的合理方法，并将此种方法应用于本实时监控系统中，实现了监控系统测试数据的便捷管理。关键词：LabVIEW，实时监控，多任务，数据库陕西省自然科学基金项目（No.2003F33）IAbstractSoftwareDesignofReal-timeMonitoringSystemofUnbalancedMagnetronSputteringIon-platinginClosedFieldInstructor：SunQiangSign

4、ature：Author：GuoQingjiSignature：AbstractThispaperdiscussesthedesignandrealizationofupperapplicationsoftwareforUDPreal-timemonitoringsystemundertheenvironmentofLabVIEW.Thepaperintroducesthecompositionanddesignprincipleofthemonitoringsystemofthecomputer.Onth

5、isbasis,presentingtheoveralldesignplanofthereal-timemonitoringsystemandclassifiedanalysisofthesoftwarefunctionbyanalyzingthetechnicalprincipleofthemagnetronsputteringion-platingsystemandmonitoringtargets.Itlayoutsthebuildingupanddesignofthefunctionalmodule

6、ofthereal-timemonitoringsystemonthefoundationofprecedingdiscussion.Andrealizesfriendlyman-machineinteraction,simplevisualtechnologicalprocesscontrol,technicaltendencydisplay,technologicalparametersetup,safeandreliablemalfunctionalarmprocessing.Byresearchin

7、gthekeytechnologyofLabVIEW,itpresentsthemultitaskschedulingstrategy,discussesthedesignmethodanddetailedrealizationofthreeschedulingstrategiesbasedonLabVIEW,increasesworkingefficiencyofCPUoftheprocessor,ensuresnormalexecutionofthemultitaskinthesystem;Inaddi

8、tion,bycomparingdifferentinterfacesofaccessingtodatabaseinLabVIEW,apropermethodofvisitingthedatabasewithLabSQLispresented.Usingthismethodinthereal-timemonitoringsystemandachievesconveniencemanagementofthetest