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时间:2019-05-15
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1、改善孔壁粗糙度(上海美维电子有限公司201600)杜晓平张春生殳伟TheImprovementofRoughnessofHole-wallDuXiaopingZhangChunshengShuWei1、项目简介:孔粗是钻孔工序的重要控制项目,目前业内标准基本上定在≤30um,我司目前的内部过程监控的标准是≤38um,由于客户对电气性能要求的提高,以及尖端产品安全性能的要求,使得客户对样板孔粗的要求不断提高,例如OPC定单中许多高层背板的孔壁质量的要求≤25um,在这样的情势下,我们必须在现有的工艺和控制方法的基础上做优化,以实现有能力稳定控制孔粗≤25um的目标。
2、2.设定目标:期望通过各Size钻嘴的DOE实验,找到关键因子和最佳水平,改善孔壁质量,同时期望找到孔粗控制在1.0mil下的参数因应孔粗≤25um要求的板子。3.缺陷示意图:4.样本量测说明:孔壁粗糙度,以平均值为样本,每一样本做4个切片,每个切片6个读数,以um为单位,共24个数据,合并计算其平均值。5.特性要因分析(鱼骨图)备注:在现有的生产条件中stackheight(叠板数),每次实验固定一台机器,实验前保证vacuum(抽真空)在110-130hPa,清洗夹头,选择动态Run-out在8um以下并保持tapeproblem(胶带贴紧度)和entry/b
3、ackup(盖板/垫板体系)不变的情况下,考察F(落速)、S(转速)、H(最大钻孔数)、R(钻咀翻磨次数)、B(回刀速)和V(供应商)6个因子。6.第一谐段实验配置和解析:计划构想:安排从0.3mm,0.4mm,0.5mm,1.0mm的实验,以考察不同尺寸钻咀对应的最佳水平。条件:1、1.6mmL6;2、叠板数:均为两块一叠。3、钻咀无特别注明则选用Union-tool;4、钻孔完毕后至PPTH后进行取样切片,每孔取最大值;5、品质特性评估值为所有孔粗读数的均值。1.00.3mm钻嘴1.1因子水平设计:采用钻孔参数F,S,H,R,B和V为6因子2水平DOE实验,共
4、16次实验。因子F(ipm)S(krpm)H(hits)R(times)VB(ipm)1708010000Union-tool2002909620002Tulon10001.2实验结果:RUN123456789101112131415AveMax12525302025253030253525303030352835230253030302535253025252525353028.335325252520202525252525202530202524304253035252530253030353025252525283553030303525353035303
5、5303025353531.335630302525303025303035252530303028.735735303035253030302530303035252529.735830253025302525253035303025303028.3351.3、正交表及Run结果本次实验输出为Y1:切片15个读数之平均值Factor1234567resultRUNFSHRVBE1Average11111111282111222228.3312211222441222211285212121231.36212212128.77221122129.782212112
6、28.3水平之和T1108.3116.3114.3113109115.6114.4/水平之和T2118110112113.3117.3110.7111.9/极差R9.76.32.30.38.34.92.5/列平方和S11.764.960.660.018.613.00.78/ST=29.781.4、方差分析:Se=SH+SR+SE1=1.45列平方和自由度均方和F比贡献率显著性Factor(Si)(fi)(Vi)(F)(P%)F11.76111.7635.6439.38**S4.9614.9615.0315.55*V8.6118.6126.0927.80*B3139
7、.098.97误差项e1.4530.33/8.3F0.01(1,3)=34.12F0.05(1,3)=10.13F1>F0.01(1,3)故Feedrate为特显因子F0.01(1,3)>Fv,FS>F0.05(1,3)故Vendor和Speed为显著因子。贡献率Feerate>Vendor>Speed>Retract,总的贡献率为91.7%。1.5、贡献率柏拉图0.3mm孔粗贡献率1008060贡献率40总贡献率200FSVB误差项e1.6CrosstableFactorFSHRVB特性值孔粗均值F1S2V1显著性****贡献率%39.3815.5527.80综
8、合最佳值F
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