宏微双重驱动技术的研究和应用现状

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1、!!!!!!第!期机械设计与制造,--Y年!月/012345678593:4;/04<=01><65&!10/文章编号&’$$’&())*+,--Y.*!&-!10&-0宏!微双重驱动技术的研究和应用现状3!!"#!陈洪涛程光明肖献强于保军杨志刚!)吉林大学机械科学与工程学院!长春!0**,1&,"合肥工业大学机械与汽车学院!合肥,0***5&0"长春工业大学机电学院!长春!0**,,*!"#"$%&’()*(++,-&(.-/)/01(&%/21-&%/*3$,4*%-5"."&’)/,/67!!,0!67$879:;/<=9!67$8>>?=:;/@A:;!BC4

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3、"""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""#""""+摘要,宏$微双重驱动技术因具备大行程"快速响应"高精度定位等特点!近年来在微操作领""""域得到了广泛的应用$总结了目前常用的宏$微双驱动的宏"微定位部件!并分析了它们各自的优"""缺点及使用范围-并介绍了常见的宏$微双重驱动系统的集成方式!以及国内外这方面研究取得的"""成果$为即将从事这方面研究的人员提供了很好的参考$""""关键词&宏.微双重驱动-微操作-宏动定位-微动定位""""+!"#$%&’$,!"#$%&’(#$%)*"+)$(,-.-#/%0%+%1/21

4、-.3$%")"44+(#".(%0(00-"$322-"$5"5(.""""4%55-55./-#/"$"#.-$55*#/"5+"$1-.$",-+$"01-6/(1/54--)$-54%05-"0)/(1/"##*$"#27./(54"4-$""""5*’*4#%’’%0’"#$%"0)’(#$%%$(-0.".(%0#%’4%0-0.5./".*5-)(0’"#$%&’(#$%)*"+)$(,-525.-’7""""8/-($-9#-++-0#25"0))(5"),"0."1-5"$-"0"+2:-)7;*$./-$’%$-5%’-#%’’%0(0.-1$".

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6、顾$针对上述情况!在,*世纪-*年代的中后期!国内外学者微纳米技术的迅猛发展使得研究对象不断微细化!对微小相继提出了宏.微双重驱动系统的初步想法(,/0)$一般的宏.微双零件进行加工"调整"微机电系统"#$#%&的装配作业等工作都需重驱动系统定位为&宏.微双重驱动系统包括宏%微操作系统两要微操作系统的参与#在自适应光学"光纤对接"医学"生物学!特个子系统!微动定位部件附着在宏动定位部件的末端!宏动部件别是动植物基因工程"农产品改良育种等领域’需要完成细胞融以地面为参照物!实现大行程!微动定位部件以宏动定位部件为合"微细手术等精细操作!都离不开高精度的微操作系统(!)$

7、参照物!实现高精度定位$因此具有了大行程%快速定位%高精度随着科技的发展!相应地!这些领域对所应用的微操作系定位补偿等优点$统也提出了更高的要求!特别是运动精度%响应速度"力感觉"可宏动与微动的定义!并不是从自身结构的尺度来划分的!控性"灵活性等方面的要求越来越高$对于微操作任务来说!在在有些系统中!宏动与微动部分在尺度上并没有绝对的差别$多关注高精度"纳米级定位检测的同时!还要兼顾微米级的大范围数是根据在集成系统里!根据实现的定位精度和要完成的任务!宏动定位$例如!在生物细胞操作过程中!要完成细胞的转移与相对来确立的$经过近,*年的探索!不论是从理