微双重驱动新型直线电机研究

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1、DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2015．06．001宏微双重驱动的新型直线电机研究木张铁民(华南农业大学工程学院，广东广州510642)摘要：大行程、高精度，同时易于小型化的移动机构是先进制造业等领域要解决的关键问题之一，综述了现有宏，微双重驱动机构和直线超声电机的研究进展和存在问题，提出了一种宏微双重驱动新型直线压电电机，使其既能与超声电机一样，直接驱动、响应快、不受磁场干扰实现宏驱动；又能与微驱动一样，精密定位，实现微驱动，并把宏微运动结合起来，在一个电机上同时实现宏微驱动，通过有限元分析软件，计算复合振子的振动模态和静态变形，分析了宏微驱动原理，给出

2、了宏微驱动新型直线电机驱动电源的设计方案。关键词：宏／微双重驱动；直线电机；超声电机；微驱动中图分类号：TP2文献标识码：A文章编号：1009—9492f2015)06—0001—06Study0naNewTypeofLinearMotorwithMacro-MicroDualDriveZHANGTie-min(SouthChinaAgriculturalUniversity，CollegeofEngineering，Guangzhou510642，China)Abstract：Largestroke，highaccuracy，easyminiaturizationandmoving

3、mechanismisoneofthekeyproblemstobesolvedinadvancedmanufacturingfield，thispaperreviewstheresearchprogressofexistingmacro／microdualdrivemechanismandlinearuhrasonicmotorandtheexistingproblems，putsforwardakindofmacromicrodualdrivenewlinearpiezoelectricmotor，themacroandmicromovementcombinetomakeitth

4、esalneasboththeuhrasonicmotor，direct-drive，fastresponse，frommagneticinterferencetoachievemacro—driven；hutwiththesamemicrodrive，precisionpositioning，toachievemicrodrive，onamotorwhileachievingmacroandmicrodrive，andthroughthefiniteelementanalysissoftware，calculatethevibrationmodeandthestaticdeform

5、ationofcompositevibrator，analyzesthemacroandmicrodrivingprinciple，presentsthedesignofmacromicrodrivemodeloflinearmotordrivingpower，asthemacrolmicrodualdrivefoundation．Keywor~：macro，microdualdrive；linearmotor；ultrasonicmotor；microdrive随着IC(Integratedcircuit)制造中芯片光刻依赖进口，在西方发达国家技术封锁下，高端的与封装、MEMS(M

6、icro—ElectromechanicalSys—芯片封装设备引进受到制约，芯片封装水平将阻tem)制造中的器件封装与组装、生物医学工程中碍我国成为二十一世纪世界IC制造强国之一。因的高速点样移液、高速精密加工及高速扫描检测此，迫切需要开展面向先进芯片封装等先进制造等领域的迅速发展，对定位系统的行程、速度、领域的高精度定位技术的研究。加速度和精度提出了更高的要求，高速高精度定1宏微驱动机构研究现状位系统的研究应运而生。然而，定位精度与系统由于精密定位技术应用领域的广泛性、对高运动速度、行程的提高相互矛盾，高精度定位希科技发展影响的重要性，因而一直是各个发达国望机构运动平缓，而高生产

7、率又希望系统高速大家的科研机构、高等院校和大型企业研究的重行程运动并高速启停，即高速大行程与高精度相点。在IC制造产业中，关键部件就是实现高位置互矛盾。如何较好地解决这些矛盾，实现大行分辨率、高可靠性、具有较大行程和高精度定位程、高速机械运动系统的精密定位已成为当前芯的直线推进运动。片封装界一个亟待解决的问题。现有高分辨率直线推进运动普遍借助于旋转目前，我国芯片封装设备工业水平与国外先电动机旋转运动，加上滚珠丝杠而获得的直线运进水平仍有较大差距，国内芯片封