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1、JJC清洗设备基本原理晶硅电池设备设备2012年11月制绒的目的去除硅片表面机械损伤层（5-7微米）（晶格畸变、位错等对光生载流子形成很强的复合，影响转换效率）；清除表面油污、杂质颗粒及金属杂质；形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加硅对太阳光的吸收，减少光的反射，增加PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池的光电转换效率。制绒的原理单晶制绒：利用硅在低浓度碱液(0.8wt%-2wt%)中的各向异性腐蚀，经一定时间腐蚀后，在(100)单晶硅片表面留下四个由(111)面组成的金字塔。Si+2OH-
2、+4H2O→Si(OH)62-+2H2多晶制绒：硅片在缺陷或损伤区的腐蚀速率更快，形成局部凹坑；HNO3+Si→SiO2+NOx+H2OSiO2+6HF=H2[SiF6]+2H2O制绒效果设备概要捷佳创清洗是对原硅片进行扩散前的清洗，完成制绒过程的设备。是一个由移载机械手运输，经去制绒、清洗、干燥等部分组成一条自动连续工作的清洗装置。制绒清洗干燥结构组成本设备主要由槽式清洗主体、移载机械手、电控柜及触摸屏等部分组成。主体电控柜触摸屏结构组成（上料台）上料电机开启后,当上料台传感器感应到有花篮,电机设定的
3、运行时间到，电机停止工作。结构组成（1#槽）1#槽循环泵对槽体内液体进行自循环。现有工艺是在1#槽进行一个预清洗的过程。结构组成（2#，7#和13#槽）2#,7#,13#槽是漂洗槽，使用的是下快排阀，排液迅速。结构组成（3#-6#单晶制绒槽）用于单晶制绒工艺，槽体材质PP，喷氟的黑色槽盖和加热器保证槽体温度稳定，自动循环系统。结构组成（8#，9#以及多晶副槽）槽体使用PVDF材料构成，具有更强的耐化学性。溶液配在冷封槽中,通过循环泵泵到多晶槽中。冷封槽中连着毛细水管,起到冷却溶液的作用。结构组成（冷冻机
4、管路）恒标冷冻机主要由压缩机，冷凝器，蒸发器，水箱以及循环泵等主要部件构成。冷冻机通过压缩机进行冷却，由循环泵泵到副槽，通过毛细管跟药液进行热交换。结构组成（14＃槽）14#槽是喷淋槽，喷淋水要确保干净,否则会把硅片打碎,喷淋后的水流到13#槽副槽,通过循环泵给13#槽补水。结构组成（15＃槽）慢提拉槽中的热水由自己的副槽提供，通过循环泵泵到槽体中。另外，由变频器控制慢提机械手升降。结构组成（烘干箱）烘箱通过12根石英加热管加热,每根70W，由风机实现热循环，风干硅片。结构组成（加热）捷佳创清洗设备的加
5、热系统，都是由断路器，熔断器，固态继电器和加热器组成。机台内部单独的加热系统都是设定的9KW的加热功率。结构组成（机械手）两台伺服电机分别控制机械手的前后移动和升降,汽缸控制机械手的进、退钩.三个机械手负责的槽位分别是1#-7#，7#-13#，13#-15#。新机型稍有区别，是1#-5#，5#-9#，9#-15#。结构组成（触摸屏）E-VIEW10.4英寸触摸屏自动/手动旋钮停止复位急停开关结构组成（触摸屏）结构组成（变频器）型号为（G1106SL3211-0AB13-7UA1，西门子）的变频器控制结构
6、组成（变频器）变频器报警代号与含义结构组成（伺服驱动器)型号为（MCDDT3520-003，松下）的驱动器控制。结构组成(伺服驱动器）驱动器报警代号和含义典型故障判断与处理方法一．整机不能启动，无法运行a.首先检查机械手是否回到原点位，如没在原点位，先进行回原点，直至原点“OK”字母闪烁;回原点实时报警画面b.检查报警信息画面,看是否有报警触发事项,如报警画面显示下列内容，则按下列事项一一排除典型故障判断与处理方法1.显示电机过载排除方法:首先检查马达有无卡死的现象，有刹车的电机检查刹车是否动作。而电机
7、自身卡死，检查负载与电机轴承进行更换与调整，直至运转灵活为止；如果不是这方面的问题，则需检查电机三相电阻值是否平衡，如不平衡，则有断路现象,找出断的线路。典型故障判断与处理方法2.显示急停未复位排除方法：逐个检查每个急停开关是否压下未旋出，让每个都弹出,而此时还未解除则检查每个急停开关之间的连线有否断路现象,使其修复,直至报警解除。急停开关典型故障判断与处理方法3.显示伺复马达报警排除方法：打开电柜检查对应报警伺复马达的驱动器,检查驱动器报警代号码,对应代号码显示故障项目,进行排除。4.显示变频器报警排
8、除方法:排除步骤与上项一样,检查对应报警码进行排除。典型故障判断与处理方法二.自动槽盖无法打开与关闭a.首先检查气压是否为4—5Mpa;如气压正常，旋转气缸动作而自动槽盖没有动作，检查连接轴健是否损坏或脱落;如电磁阀动作，气缸得气而未动作，检查自动槽盖有否卡死变形，气缸有否损坏。b.如电磁阀没有动作，看有否电压到电磁阀线圈，如有则电磁阀损坏;如没有电压，检查PLC有否输出，如有输出检查相应线路，如PLC没有输出，看是否气缸磁感应开关未感应到
