设备管道清洗方案

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1、方案I设备、工艺管道开车前的化学清洗方案1.编制说明根据业主和EPC(信息产业电子第十一设计研究院)技术交底的要求：合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）工艺管道和设备，在安装前后必须保证一定的洁净度要求，循环水系统必须进行清洗预膜。本方案的编制还参照了我们以往在亚洲硅业（青海）1200吨/年、黄河水电新能源公司（青海）1500吨/年和浙江中宁硅业（衢州）2×1500吨/年多晶硅装置的清洗经验和施工方法，结合浙江协成硅业多晶硅生产装置的特点，加以修改和完善。中标后，将根据图纸和设计的具体要求编制详细技术方案予以指导施工。2.编制依据2.1HG202

2、02-2000《脱脂工程施工及验收规范》；2.2HG/T2387-2007《工业设备化学清洗质量标准》；2.3HB5282-84《不锈钢酸洗钝化质量检验》；2.4SJ20893-2003《不锈钢酸洗与钝化规范》；2.5JB/T6896-93《空分设备表面清洁度》；2.6HG/T3523-2008《冷却水化学处理标准腐蚀试片技术条件》；2.7GB8923-88《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》；2.8GB8978-1999《污水综合排放标准》；3.清洗目的多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统（部分具备冶金系统和半导体电子元器件的特点）。为了减少工艺系

3、统调试时净化处理的时间，最大限度地降低调试费用（系统净化处理阶段的废品率高，产品产出价值低），使得装置早日生产出高纯度多晶硅产品，必须做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗处理工作。针对不同的工艺要求、不同的设备材质以及不同的设备类型、清洗处理要求和达到的基本标准（达到无油、无水、无尘与无杂质的四无要求和循环水的预膜要求）需要采取不同的清洗方法，清洗施工工艺可划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。4.清洗范围和洗前准备4.1清洗范围4.1.1本次清洗主要针对浙江协成硅业有限公司千吨级多晶硅装置，工程中所涉及的合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、

4、氯硅烷储存及外管等（部分）相关的设备（塔、罐、储槽、换热器、机泵和阀门管件等）及相应的不锈钢管道和碳钢管道，详见4.1.2。4.1.2清洗工作范围4.1.2.1100工号（一般清洗）a三氯氢硅合成炉之后走氯化合成料的设备，如储罐、计量罐、空冷器，换热器等；b工艺管道、尾气（废气）管道；c氢气管道；d氮气管道；e以上设备管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；f合成尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。4.1.2.2200工号及210工号（一般清洗）a全部工艺设备，如储罐、换热器（再沸器、冷凝器）、塔器、屏蔽泵等；b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道；

5、c以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。4.1.2.3300工号（高纯清洗）a全部工艺设备，如储罐、气化器、气液分离器、尾气水冷器等；b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道；c以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。4.1.2.4310工号（一般清洗）a全部工艺设备，如储罐、换热器、塔器（鼓泡淋洗塔、吸收塔、解吸塔），吸附器、屏蔽泵；b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道、盐酸气管道、纯水管道；c以上设备或管道上

6、的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。4.1.2.5500工号（洁净清洗）氩气管道、真空管道以及这些管道上的阀门、仪表。4.2.1.6510工号（洁净清洗）氮气管道、氢气管道、纯水管道。4.2.1.7600工号（一般清洗）a氮气干燥器之后的管道及阀门、仪表；b氢气管道及阀门、仪表；c纯水管道及阀门、仪表；d除盐水管道及阀门、仪表。4.2.1.8650工号（一般清洗）a氢气站界区以内由设备供应商负责清洗；b界区以外（厂房围墙外1米）的设备（主要是氢气储罐、缓冲罐）；c界区以外（厂房围墙外1米）的氢气管道、氮气管道及阀门、仪

7、表。4.2.1.9厂区管网（洁净清洗）a工艺物料（氯硅烷）管道；b氮气管道、氢气管道、纯水管道；c上述管道上的阀门、仪表。4.2.1.10200工号三氯氢硅产品系统及300工号混合气系统（高纯清洗）a工艺物料管：从5、7、9级塔塔顶冷凝器以下的冷凝液管、产品管、还原炉进气管、出气管、尾气管到还原尾气水冷器止；b与上述管道相连的工艺设备：5、7、9级塔的回流液罐3台，5、7、9级塔的三氯氢硅产品罐6台，气化器5台，气液分离器5台（不含塔顶冷凝器和还原尾气冷却器）；c与上述设备相连的氮气管和尾气管、废气管，从设备到各自的主管道；d