多晶硅设备管道清洗干燥方案

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1、多晶硅设备管道清洗干燥方案1工艺流程1.1脱脂清洗工艺管道设备材料验收水冲洗试漏脱脂纯水冲洗干燥包封针对标业主要求的预清洗设备管道的不同和现场考察情况，清洗施工工艺划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。●喷淋清洗工艺a喷淋清洗对象喷淋清洗主要适用于容积较大的大型塔器、立式罐、卧式罐等设备。b喷淋清洗工艺喷淋清洗是一种循环清洗技术，在清洗过程中，将化学清洗溶液均匀喷洒到所要清洗的系统内表面上，借助清洗液的重力而沿容器壁流到底部，使清洗液与容器内壁进行充分的接触，发生化学反应达到清洁系统的要求。通过调整喷淋头的位置，可以使清洗液喷到容器顶以及容器内壁，保证整个容器清

2、洗的洁净度。喷淋清洗的步骤如下：（1）喷淋器和喷淋泵的选择在喷淋清洗中，喷淋器的设计是比较重要的，喷淋器的设计或选用不当将导致清洗液分布不均，产生清洗死角，直接影响清洗效果。常用的喷淋器头为旋转喷头。在被清洗的容器内部安装一个或多个旋转喷头，利用水力扭矩驱动喷头，达到使喷头旋转的目的。根据清洗对象的不同选用不同的喷头。在进行容器的喷淋清洗时，采用清洗泵站进行，清洗泵站采用泵的流量为≤50m3/h，扬程为≤100m（泵站工艺图见附图三）。通过控制喷淋液的喷射速度，使容器的内表面都能够被清洗到，不留死角，保证清洗质量。（2）喷淋前期的准备工作每个容器清洗前将各个人孔打开，观察内部实际情况：①清除容

3、器底污垢杂物；②喷淋清洗前，将喷淋器放入口的人孔或法兰处用吸水布和防水塑料布封闭。③将容器底部的法兰口打开，接一个临时回液至泵站回液口。④安装喷淋器，建立循环回路。⑤建立排污管，将清洗废液排至沉降池进行处理，达标后排放。（3）喷淋清洗配管工作完成后，使用清水进行喷淋，检查是否所有的被清洗表面都能够喷淋到。对清洗泵站中泵的流量进行调节以达到此目的（参看清洗泵站流程示意图）。并确定需要进行最小循环的液体体积，根据这个体积配制清洗液进行清洗以上是塔清洗的示意图，实际清洗过程中根据各个设备的实际情况会有所不同。c喷淋清洗工艺方法采用碱液为主脱脂剂进行清洗，工艺按照以下步骤进行：水冲洗、试漏→脱脂→纯水

4、冲洗→干燥→包封（1）水冲洗、试漏①水冲洗及试漏的目的是除去系统中可能存在的污物。并在模拟清洗状态下对临时接管处泄漏情况进行检查。②冲洗时，调节喷淋液的流量，以便冲洗出系统内的污物，并控制进出水平衡。当进出水的浊度差小于5ppm时，冲洗结束。③水压检漏试验时，检查临时系统中焊缝、法兰、阀门、短管连接处，有泄漏情况应及时处理，以保证清洗过程的正常进行。④测试项目浊度1次/20分钟⑤检验目测无锈水、污渍和其他污物浊度计检查进出水的浊度差小于5ppm（2）脱脂①脱脂的目的是利用脱脂液与系统中各类机油、石墨、防锈油等有机物反应，以除去系统内的油污。②排尽积水，将水充满系统，循环并加热。逐渐加入脱脂药剂

5、，混合均匀后进行正反向循环，当系统脱脂液碱度稳定，即可结束脱脂步骤。③所需药剂及比分药品名称质量分数（％）NaOH2—5渗透剂JFC0.05-0.5表面活性剂（OP-10）0.05-0.5④测试项目碱度1次/30分钟温度1次/30分钟⑤工艺条件利用蒸汽将碱液加热至60～90℃，冲洗过程中蒸汽恒温在此温度内⑥检验用PH试纸或酸碱滴定检查PH值用温度计控制碱液温度（3）纯水冲洗①脱脂后的水冲洗用水为纯水。②脱脂后的水冲洗是冲出系统内的脱脂残液。③脱脂液排净后，用大量水进行冲洗，当进出水的pH值小于8，进回液的浊度差小于5ppm时，即可结束水冲洗。④测试项目浊度1次/20分钟pH1次/20分钟⑤检验

6、浊度计检查进出水的浊度差小于5ppm用PH试纸或酸碱滴定检查PH值目测无明显锈斑或污渍，呈现金属光泽在紫外线（黑）光下检查，无任何兰白荧光用干净的未漂白白布擦拭管道或设备内壁，在明亮的灯光下和紫外线（黑）光下检查，无任何斑点和兰白荧光●循环清洗工艺a循环清洗对象循环清洗适用于易于构成封闭系统，系统内容易形成循环均匀，没有循环死角的管线、换热器、小型容器等设备。b循环清洗工艺循环清洗是利用清洗泵站为外加动力，通过清洗液在清洗系统内进行循环，使清洗液与设备、管线内表面的油污进行反应，以达到脱脂目的。c循环清洗工艺方法此次循环清洗采用碱液为主脱脂剂进行清洗，工艺按照以下步骤进行：水冲洗、试漏→脱脂→

7、纯水冲洗→干燥→包封（1）水冲洗、试漏①水冲洗及试漏的目的是除去系统中污物，并在模拟清洗状态下对临时接管处泄漏情况进行检查。②冲洗时，调节清洗液的流量，以便冲洗出系统内的污物，并控制进出水平衡。当进出水的浊度差小于5ppm时，冲洗结束。③水压检漏试验时，检查临时系统中焊缝、法兰、阀门、短管连接处，有泄漏情况应及时处理，以保证清洗过程的正常进行。④测试项目浊度1次/20分钟⑤检验目测无锈水、污渍和其