非球面双焦距微透镜的制造技术研究

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3、呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研巧工作所取得的成果，。除己特别加Ｗ标注和致谢的地方外论文中不包含任何他人己经发表或撰写过的研巧成果一同工作的同志对本研巧所做的贡献均己在论文中作了明确。与我的说明。作者签名签字日期．：ＱＪｈｉ中国科学技术大学学位论文授权使用库明作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被査阅和借阅，可Ｗ将学位论文编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用巧印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。本人

4、一致提交的电子文培的内容和纸质论文的内容相。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。囚公开□保密（年）＿＿作者签名：：导师签名Ｖｌ．？签字日期：节乂《Ｉ签字日期：摘要巧要半导体激光器因其诸多优点得到广泛的应用，但由于光束发散角较大，远场，通常需要对光束进行整形Ｗ满足使用要求，光斑呈滿圆形。针对光束的准直本文提出利用单个非球面双焦距微透镜同时准直光束快慢轴的方法，制作双焦距微透镜进行巧关研巧。本文主要研巧工作有Ｗ下几个方面：一第部分，推导计算了光束的本征像：分析了边发射半导体澈光器光束特性一散个双焦距微透镜对光束快慢

5、轴实现同时准直，，基于光束像散的特点提出利用计算了微透镜的面型：利用ＺＥＭＡＸ进行了半导体激光器光束与双圆锥曲面透镜的准直仿真。第二部分：利用热烙法制作了双焦距微透镜：提出利用沟椎型微结构基底两向异性的特点制作液滴非球面双焦距微透镜的方法；进行了微结构基底改变液滴一Ｉ接触角的热力学分析，利用ＣＰ刻蚀制作了系列不同参数的阵列型微结构基底，进行液滴接触角实验对润湿规律进行验证。第Ｈ部分：制作了沟槽型微结构基底，利用倒置液滴固化法制作了非球面双焦距微透镜，测量了双焦距微透镜的面型，得到了微透镜长短轴方向轮廓的非球面系数和顶点曲華半径，测量了双焦距

6、微透镜的焦距；利用制作的非球面双焦距微透镜进行了半导体激光器光束的准直实验。本文从理论分析和实验两个角度研巧了利用微结构基底结合液滴法制作微透镜的技术，制作了双焦距微透镜，并进行了光束准直实验，实验结果显示具有双曲面型的双焦距微透镜比长短轴都是滿圆面型的澈透镜准直效果更佳。关键词：非球面微透镜；双焦距；微结构：接触角；光束准直ＩＡｂｓｔｒａｃｔＡｂｓｔｒａｃｔＬａｓｅｒｄｉｏｄｅｈａｓｂｅｅｎｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｂｅｃａｕｓｅｏｆｎｕｍｅｒｏｕｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｉｔｓｏｏｒｂｅａｍｕａｌｉ

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