航天碲镉汞红外探测器工艺及暗电流研究

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1、密级:博士学位论文航天碲镉汞红外探测器工艺及暗电流研究作者姓名：乔辉指导教师:李向阳研究员中国科学院上海技术物理研究所学位类别:理学博士学科专业:微电子学与固体电子学研究方向：光电传感材料与器件培养单位:中国科学院上海技术物理研究所2016年5月学位论文版权使用授权书本人完全了解中国科学院大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保存学位论文的印刷本和电子版，并提供目录检索与阅览服务；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存学位论文。本人同意《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》出版章程的内容，愿意将学位论文提交《中国学术期刊（光盘版）》电子杂志社，编入

2、CNKI学位论文全文数据库并充实到“学位论文学术不端行为检测系统”比对资源库，同意按章程规定享受相关权益。保密论文在解密后遵守此规定。论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日StudyonthefabricationanddarkcurrentcharacteristicsofspacebornemercurycadmiumtellurideinfraredphotodetectorsByHuiQiaoADissertationSubmittedtoUniversityofChineseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementF

3、orthedegreeofDoctorofElectronicScienceandTechnologyShanghaiinstituteoftechnicalphysics,ChineseAcademyofSciencesMay,2016致谢首先，我要感谢我的导师李向阳研究员！初次来到技物所时在器件楼楼下第一次看到李老师的场景还依稀在目，转眼已经14年过去。过去的十几年里，在李老师的精心帮助和耐心指导下我在各方面都得到了成长。李老师学识渊博，高屋建瓴，不仅专业知识精湛，对科研工作充满热情亲力亲为，而且贯古通今，兼修中外，每次跟他请教之后经常会有耳目一新豁然开朗的感觉，促成了自己点点滴滴的进步，

4、可为一生之良师益友。李老师研究工作中所熟练采用的怀疑一切、大胆假设和小心求证的思路令人印象深刻，实乃吾辈学习之楷模。李老师给我印象最深刻的莫过于他对于知识那种宏观的把握以及解决问题时敏锐的眼光，在他那里，不同领域的知识不是一个个孤岛，而是一片广阔的大陆，既能融会贯通稔熟于心，又能深入浅出娓娓道来，经常一句话就点到问题的关键，使我深深体会到什么是真正的活学活用，以致于有时会纳闷那些如此聪明的大脑究竟是如何运作的。这里深深感谢在博士学习和论文写作期间李老师给予的指导和帮助，使得博士课题的研究及毕业论文的撰写可以顺利地完成。衷心感谢龚海梅研究员在研究工作中给予我的大力支持和鼓励，龚老师对于工作的专业

5、和专注一直影响着我，也是我学习的榜样。感谢张勤耀研究员、胡晓宁研究员、张燕研究员、李雪研究员、叶振华研究员、胡伟达研究员、许金通研究员等在研究工作中给予的帮助。非常感谢我所在的红外器件室团队，感谢焦翠玲、王仍、杜云辰、张可峰等各位材料组同事的帮助，感谢刘诗嘉、兰添翼、赵水平、朱龙源、王妮丽等各位成型组同事的帮助，感谢汤亦聃、刘向阳、储开慧、徐国庆、贾嘉等各位薄膜组同事的帮助，感谢周青、蔡子健、叶丽萍、姜佩璐、孙晓宇、靳秀芳等各位电极组同事的帮助，感谢蒋科、罗毅、章莲妹、龚玮、王继源、杨晓阳等各位测试组同事的帮助。同时还要感谢唐恒敬博士、李淘博士、林铁博士、周诚、朱建妹、汪洋、贺香容、张亚妮等各

6、位同事在课题工作中给予的帮助。感谢UIC(UniversityofIllinoisatChicago)的Siva教授的邀请使我于2015.5-10作为青年访问学者在UIC从事了半年的研究，特别感谢常勇博士和Suk-RyongHahn博士，与你们在一起的半年使我收获颇多受益匪浅；感谢UIC的PaolaCaicedo、满沛鸿博士和郑昕博士在我访学期间对我的帮助。衷心感谢研究生部汪俊发、李淑微、朱晓琳、黄曦、曾尚璀几位老师在博士期间给与的指导和帮助！论文的完成离不开我的家人的支持。我要深深地感谢我的妻子，你如同那沙仑的玫瑰和谷中的百合，使我的生活充满了馨香之气，如圣经所言“得着贤妻的，是得着好处，也

7、是蒙了耶和华的恩惠”；我要感谢我的爸爸妈妈和岳父岳母，感谢你们在生活中对我们无微不至的照顾，使我们深深地享受到人世间这最无私的爱，能做你们的儿女是我们的荣幸！我要感谢我的弟弟，使我到了另一个城市也有到家的感觉，只因为你在那里。我要衷心感谢我的上帝，当我在论文研究和写作的过程中碰到山穷水尽时不断带领我进入柳暗花明。相信你倚靠你的时间越长，对你的佩服和景仰也越深，感谢你一路的陪伴和凡事上的帮助。在自己