碲镉汞红外探测器.ppt

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1、报告人：XSX2014年1月6HgCdTe红外探测器HgCdTe红外探测器的诞生合理的假设HgTe：禁带宽度-0.3eVCdTe:禁带宽度1.6eV光子吸收率高跃迁方式为带间跃迁全波段相应通过调节Cd组分的数值大小，碲镉汞材料的禁带宽度随之变化HgCdTe光伏探测器结构p-on-n：超高的探测器灵敏度n-on-p:制造工艺简单生产工艺n-on-p:离子注入技术消除辐射损伤控制掺杂离子的扩散激活杂质离子的电活性p-on-n:受主掺杂探测器器件优质比较我国的研究情况(1)2048元线列碲镉汞焦平面器件(2)双色碲镉汞红外器探测器2048元线列碲镉汞焦平面器件2048像元分布间接互联示

2、意图滤波片安装结构设计杜瓦制冷器探测器性能碲镉汞光敏元响应光谱碲镉汞焦平面器件响应率分布探测器性能达到的性能参数光敏元尺寸28探测器元数2048平均峰值探测率9.3×1010cmHz1/2W-1平均峰值响应率8.3×107V/W响应率不均匀性8%有效光敏元率99.5%工作温度77K器件局部512元系统成像顺序模式双色碲镉汞红外探测器光谱响应技术参数测试结果截止波长SW:2.7MW:4.9平均峰值探测率cmHz1/2W-1SW:1.42×1011MW:2.15×1011响应不均匀性SW:11.73MW:26.27盲元率(%)SW:1.3MW:13.6性能参数同时模式双色碲镉汞红外探

3、测器双色红外探测器的响应光谱光谱窜音：3.8%4.4%最大的HgCdTe短波红外焦平面阵列阵列：2048×2048尺寸：18×18量子效率65.4%,不均匀性4.3%中波：640×480元阵列，77K，量子效率68%,NETD为0.013K长波：256×256阵列,工作温度77～88K，量子效率70％～75％，NETD为13mk双色：美国雷神公司1280×720阵列，像元尺寸20×20um今后的发展方向提高工作温度实现长波大面阵