碲镉汞光导器件工艺与损伤评价研究

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1、－ＴＮ？巧单位代码：１０４２２分类号：学号：２０１３Ｈ８３９密级，ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ论文题目：稀鎭亲光导雜＃工艺与摄伤评价巧究ＳｔｕｄｏｆＦａｂｒｉｃａｔｉｏｔｉａｎｄＤａｍａｅＥｖａｌｕａｔｉｏ！！ｆｏｒｙｇＭｇＣｃＨｅＰｈｏ化ｃｏｎｄｉｉｃｔｉｖｃ叫＂作者姓名、＇腺１＞巧椿养单位信急装■學与ｒｒ．娃学院专业名称电早与彌信三程指导教师移免遠副巧巧合作导师，？ｒ，ｓ年４月旣日？：１分类号？下单位代码０４２２化密级；

2、如如）：学号３ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕±学位论文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｒｅｅｇ论文题目锦杀誘裝王的获换评今砰怒辦呼作者姓名降心＇障培养单位玉专业名称淹；禾ｆｅｔｓ手ｊ－指导教师杨＾词敎凌合作导师如＾年牛月亦日原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。心＇论文作者签

3、名；看日期销油阿；斗关于学位论文使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可＾＾１将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。保密论文在解密后应遵守此规定（）＼论文作者签名；身＾。韦导师答名＜＾《＾日期如午私日：畔＾｜山东大学硕±学位论文目录翁要ＩＡＢＳＴＲＡＣＴＩＩ第一章引胃１１．１蹄锦東红外探测器１１．２蹄領隶光导器件工艺２

4、１２１２．．抛光工艺１．２．２刻蚀工艺３１３．研究内容和结构安排４第二章抛光条件与亚表面损伤深度的研巧５２．１化学机械抛光５２．１．１抛光液５．２抛光工艺要素２１．５２丄３抛光理论建模５２．２亚表面损伤６２．２．１亚表面损伤层６２．２．２亚表面损伤检测方法７２．３抛光产生的亚表面损伤正交试验７２．３．１粗抛正交实验７２．３．２精抛正交实验９２．３．３正交实验结论１０２．４亚表面损伤的回归分析１１２．４．１回归分析方法１１２４２１１．．回归分析原理２４３１３．．粗抛正交试验的回归

5、分析２．４．４精抛正交试验的回归分析１６２．４．５回归分析结论１８２５１９．本章小结第兰章亚表面损伤对蹄領隶材料和光导器件性能的影响２０ｉ山东大学硕±学位论文３１２０．去除不同深度亚表面损伤对蹄锡隶材料的影响３Ｕ少２０．子寿命３丄２霍尔测试２３３．２去除不同深度的亚表面损伤对稀領隶光导器件性能的影响２５３２１２５．．拐点电阻３．２．２响应光谱％３．２．３光电性能１１３．３本章小结３０第四章不同干法刻蚀技术对稀領隶光导器件造成的损伤研巧３１４．１干法刻蚀３１４丄１离子束刻蚀３１４丄２电感稱合

6、等离子体刻蚀３１４丄３刻蚀诱导损伤３２４２．迁移率谱理论３２４３．载流子散射机制％４．４不同干法刻蚀技术制备的蹄箱亲光导器件３５４４．．１霍尔测试％４．４．２光电性能测试３９４．５温度可靠性实验４１４．５．１霍尔测试４１４．５．２光电性能４３４．６本章小结４６第五章全文总结与展望４７＃＃文献４９致５４攻读学側间发表的学术论文５５ｉｉ山东大学硕±学位论文ＣＡＴＡＬＯＧＣｈｉｎｅｓｅＡｂｓｔｒａｃｔＩＥｎｇｌｉｓｈＡｂｓｔｒａｃｔＩＩＣｈａｐｔｅｒ１Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔ

7、ｉｏｎ１１．１ＨｇＣｄＴｅＩｎｆｒａｒｅｄＤｅｔｅｃｔｏｒ１１．２ＰｒｏｃｅｓｓｏｆＨｇＣｄＴｅＰｈｏｔｏｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅＤｅｖｉｃｅ２１ｌｉｉ．２．１ＰｏｓｈｎｇＰｒｏｃｅｓｓ２１２ｉ．２Ｅ化ｈｎＰｒｏｃｅｓｓ３．ｇ１．３ＣｏｎｔｅｎｔａｎｄＳｔｒｕｃｔｕｒｅ４Ｃｈａｐｔｅｒ２ＰｏｌｉｓｈｉｎｇＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓａｎｄＤｅｐｔｈｏｆＳ