基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器建模

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1、义连禮＾义＇爹Ｄ化ＩＡＮＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＩ福破±享恆巧又ＭＡＳＴＥ民ＡＬＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ鐵基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器建模工程成电路王程集领域觉作者姓名＿並＿指导教师＿＿＿＿王宏伟＿＿劃教摄＿＿＿＿＿２０１６＾６＾５Ｈ答辩日期＿＿专业学位硕±学位论文基于模糊神经网络的晶圆清洗机过滤器建模Ｍｏｄｅｌｉｎｇｏｆ扔ＩｔｅｒＦｌｏｗＲａ化ＭａｃｈｉｎｅＢａｓｅｄｏｎｆｕｚｚＮｅｕｒａｌＮｅｔｗｏｒｋｙ作者姓名：杨光工程领就集成电路工程学

2、号：４１２０９０１４指导教师；王宏伟完成日期：２０１６年５月２４日乂连巧义夫＃ＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙ大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重京明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中臣经注明引用内容和致谢的地方外，本论文不包含其他个人或集体邑经发表的研究成果，也不包含其他己申请学位或其他用途使用过的成果一。与我同工作的同志对本研究所做的贾献均邑在论文中做了巧确的说明并表示了谢意。若有不实之处，本人愿意承担粗关法律责任。学位论文题目：基于横糊神经

3、网络的晶圆清洗机过滤器建模作者签名：和參ｖｊ日期：如ｂ年ｂ月ｒ日大连理工大学专业学位硕±学位论文摘要晶圆的清洗是半导体生产过程的重要工芝环节，晶圆对微污染物的存在非常敏感，一晶圆的清洗质量直接关系到忘片的成品率，是关乎生产成本的关键因素之。目前湿法清洗是被广泛采用的清洗技术，湿法清洗技术关键是对过滤器更换的控制，而控制的重要依据是清洗机内化学品的流量和浓度。论文研究了晶圆清洗机液态化学品过滤器的流量预测模型，并基于该流量预测模型对过滤器及生产线的更换进行优化，解决过早更换过滤器造成的过滤器未物尽其用的浪费和延迟更换过滤器导致流量ＥＰ（Ｅｘ

4、ｃｕｒｓｉｏｎＰｒｅｖｅｎｔｉｏｎ）报警造成的晶圆废品，有效的降低了生产成本。论文的主要研巧工作如下；（１）对晶圆清洗机过滤器流量预测进行了研巧。通过现场实际采样，选取构建模糊神经网络的训练样本集和检测样本集数据；对采集的数据进行标准化去除噪声处理。（２）进行模糊神经网络建模和学习算法的研巧。建立模糊神经网络模型，并进行了实例验证；研巧该模型的预测精度及误差原因，并提出改进措施。．（３）对模糊神经网络模型的算法进行改进研巧。提出了基于新目标函数的模糊聚类算法。该算法将输入量的变化引入到模型的输入空间，改善模型的结构。通过改进的聚、类算法确定模糊神经网络

5、的结构和网络参数权值，确定模糊神经网络神经元个数和规则数，利用改进型模糊神经网络对晶圆清洗机过滤器流量进行预测研究。（４）搭建实验平台，进行实践平台的实际测试，包括模型结构的确定，参数的估计及实践平台的应用流程。在研巧中，通过理论分析和实践验证，本文提出的基于模糊神经网络的预报方法可。１＾实现自动预报，实现过滤器自动更换关键词：晶圆清洗祝；模糊神经网络；过滤器流量预测；模糊聚类－－Ｉ大连理工大学专业学位硕±学位论文ＭｏｄｅｌｉｎｏｆＦｉｌｔｅｒＦｌｏｗ民ａｔｅＭａｃｈｉｎｅＢａｓｅｄｏｎＦｕｚｚＮｅｕｒａｌＮｅｔｗｏｒｋｇｙ

6、ＡｂｓｔｒａｃｔｅｒｃｎｓａｎｏｔｔｒｏｃｅｓｓｎｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍａｎｕＡｓｗａｆｅｒａＷａｆｌｅａｎｉｇｉｉｍｐｒａｎｉｓｅｆａｃｔｕｒｉｎ．ｒｅｐｇ＾ｖｅｒｓｅｎｓｉｔｉｖｅ化ｍｉｃｒｏｏｌｌｕｔａｎｔｓｗａｆｅｒｃｌｅａｎｉｎｕａｌｉｔｉｓｄｉｒｅｃｔｌｉｅｌａｔｅｄｔｏ化ｅｃｈｉｆｉｎｉｓｈｙ，ｑｐｇｙｙｐｒａｔｅａｎｄａｌｓｏ也ｅｋｅｆａｃｔｏｒｔｏ化ｅｃｏｓｔｏｆｒｏｄｕｃｔｉｏｎ．Ｗ巧ｄｅａ打ｉｎｉｓ妃ｅｏｕｌａｒｒｏｃ巧ｓａｔ，，ｙｐｇｐｐｐｐｒｅｓｅｎｔ．Ａｎｄ

7、化ｅｋｅｙ化ｃｈｎｉｑｕｅ化ｗｅｔｃｌｅａｎｉｎｇｉｓｔｉｅｍａｓｔｅｒｏｆ化ｅｆｉｌｔｅｒｒｅｌａｃｉｎ．Ｔｈｅｆｌｏｗｐｇａｎｄｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆ讯ｅｃｈｅｍｉｃａｌｓｏｆ化ｅｃｌｅａｎｉｎｍａｃｈｉｎｅａｒｅ化ｅｃｒＵｅｒｉｏｎｏｆ．化ｅｆｉｌｅｒｇｒｅｌａｃｉｎ．Ｉｎｔｉｈｉｓａｅｒ也ｅｆｌｏｗｒｅｄｉｃｔｉｏｎｍｏｄｅｌｏｆ化ｅｌｉｕｉｄｃ