非晶铟镓锌氧基薄膜晶体管与肖特基二极管电学稳定性研究

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7、微电子学与固体电子学专业１３级硕壬生姓名：钱慧敏指导教师（姓名、职称）：郑有抖教授陆海教授摘要新型非晶氧化物半导体ＡＯＳ材料非晶钢嫁锋氧ａ－ＩＧＺＯ具有高迁移（）（）一率、高透明度、低制备媪度、低成本等优越性能，在下代平板显示、透明柔性－电子等诸多方面具有广阔的应用前景，ａ，受到学界和产业界的广泛关注ＩＧＺＯ－Ｔ－ＺＯ肖二基本电路元器件如ａＩＧＺＯ薄膜晶体管（ＴＦｓ）和ａＩＧ特基势垒极管（ＳＢＤｓ）的制备研发近年来已经成为国际研巧热点。－ａ－ＩＧＺＯ基ａＩ尽管元器件拥有种种电学、光学特性优势，但ＧＺＯ材料体系中和界