PMMA介质层铟锌氧化物薄膜晶体管的制备与研究.pdf

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1、PMMA介质层锢锌氧化物薄膜晶体管的制备与研究作者:冯佳涵指导教师:张群教授指导小组:崔晓莉教授沈杰副教授硕士学位论文PMMA介质层钢锌氧化物薄膜屏!体竹的制各与研究担以李ABSTRACT.....................................................................................................................................……!V第一章绪论...............................................

2、...................................................................................……11.1引言......................................................................................................................................……!1.2薄膜晶体管的发展及应用.........................................

3、.................................................……21.3薄膜晶体管的工作原理...............................................................................................……31.4传统硅基薄膜晶体管.....................................................................................................……91.5氧

4、化物薄膜晶体管........................................................................................................……101.5.1国内外研究现状.....................................................................................................……101.5.2半导体沟道层材料......................................

5、..........................................................……111.5.3介质层材料..............................................................................................................……131.5.4电极材料........................................................................................

6、...........................……141.6本论文的研究意义和研究内容..............................................................................……，15第二章非晶锢锌氧化物薄膜晶体管的市lJ各一与表征...............................................……172.1制备方法.......................................................................

7、.................……，..…，...........……172.1.1直流反应磁控溅射制备无机沟道层................................……，........................……172.1.2浸渍提拉法制各有机介质层..............……，.........……，......................................……192.1.3真空热蒸发制备金属电极.........................................................

8、...................