多通道小型化tr组件关键技术研究

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1、－、＂Ｉ矣各种故聲諭ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡＩ硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳ／醉．ｊｒ＼今内—＾＼麟＇ＩＨ４Ｋ若Ｖ芝作／ＪＭ／■Ｍ论文题目多通道小型化Ｔ／Ｒ狙件关键技术妍究喔皆学科专业电磁场与微波技术学号２０１３２１０２０２３８作者姓名张深指导教师王跨窩级工程师分类号密级化ＵＤＣ＾学位论文多通道小型化Ｔ／Ｒ组件关键技术妍究（题名和副题名）张深

2、（作者姓名）指导教师王跨高级工程师￣电子科技大学成都（姓名）、脫称、单位名務申请学位级别硕ｄｂ学科专业电磁场与微波技术．■！？提交论文曰期论文答辩日期如／Ａｔ占．／＾｜学位授予单位和日期电子科技大学ＴＷ＜年占月答辩委员会主席评阅人注１；注明《国际十进分类法ＵＤＣ》的类号。TheResearchoftheKeyTechnologyontheMiniaturizationofMulti-ChannelT/RMoudulesAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElec

3、tronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectromagneticfieldandMicrowaveTechnologyAuthor:ZhangChenSupervisor:SNENGR.WangLingSchool:SchoolofElectronicEngineering独剑性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加标注和致谢的地方夕ｈ论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料

4、。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。？／作者签名：、日期八年女月日球為论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可将学位论文的全，可部或部分内容编入有关数据库进行检索｜＾采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）主倍作者签名：亦娘导师签名：＿＿－日期：年户月口日／摘要摘要多通道T/R组件是相控阵

5、雷达中的核心部件，其尺寸、性能在很大程度上影响着相控阵雷达整机的体积和性能，因此多通道T/R组件的小型化设计对于实现相控阵雷达的小型化具有非常重要的意义。而近些年快速发展的LTCC（低温共烧陶瓷）技术、多层微波印制电路技术、3D-MCM（立体式多芯片组）技术，为实现T/R组件的小型化提供了新的选择和方法。本文基于传输线理论、威尔金森功分器理论，结合LTCC工艺、微波多层电路工艺和3D-MCM技术在实现多通道T/R组件小型化的关键技术上开展了相关研究，并取得以下研究成果：（1）采用LTCC工艺，完成了一款Ka波段多波束合成模块的设计。在该模块的研制中本文主要在层间带状线

6、垂直互连，微带线到带状线过渡，通路相位一致性等方面开展了较为深入的研究，同时给出了上述结构的通用模型，并通过实物测试验证了所建模型的可行性和准确性。（2）结合微波多层电路工艺，在实现多通道T/R组件的小型化方面做了初步的探索和研究，同时完成了带状线威尔金森功分器、微带线到带状线垂直互连、层间带状线到带状线垂直互连等结构的仿真和设计，并取得较好的仿真结果。（3）结合3D-MCM技术，在立体式多芯片组件技术上做了相关的设计和研究。利用HFSS软件进行仿真优化，完成了板间垂直互连结构的设计和加工。实测结果表明所设计的板间垂直互连结构可以实现较好的传输性能并具有一定的工程应用

7、价值。关键词:小型化，LTCC工艺，3D-MCM技术，垂直互连结构IABSTRACTABSTRACTMulti-channelT/Rmodulesisanimportantpartofaphasedarrayradar.Itssizelargelyaffectsthevolumeofphasedarrayradar.Sotheminiaturizationofmulti-channelT/RmodulesresearchhasveryimportantsignificanceontherealizationofminiaturizationofPAR