基于太赫兹表面等离子体波谱分析的半导体缺陷检测系统研究

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5、ityofPostsandTelecommunicationsfortheDegreeofMasterofEngineeringByLiyuanyiSupervisor:Prof.YangTaoMay2016南京邮电大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的硏巧成果。尽我所知，，除了文中特别加标挂和致谢的地方外论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研巧成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。一与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表

6、示了谢意。一本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担切相关的法律责任。研究生签名：未鮮日期：南京邮电大学学位论文使用授权声明本人授权南京邮电大学可保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子文＾档；；允许论文被查阅和借阅：可文将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检秦可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文，本文电子文档的内容和纸质一论文的内容相致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。涉密学位论文在解密后适用本授权书。：ｉ研究生签名：导师签名Ｕ）ｙ：日期香、摘要表面

7、等离子体波是导体表面存在的自由振动的电子与光子相互作用产生的沿着导体表面传播的电子疏密波。由于这种特殊的波在光学和电子学中有非常高的应用价值，因而得到广泛重视和关注，而太赫兹作为一种近年来一种最重要的技术拥有非常多的应用场景和科研价值，但是太赫兹频段的表面等离子体波研究较少，本文结合这两种技术提出利用太赫兹表面等离子体波对半导体表面和内部缺陷进行检测，主要工作和结果如下：首先，通过理论推导表面等离子体波的色散方程并计算了太赫兹表面等离子体波在半导体表面的传播特性，计算结果表明随着太赫兹表面等离子体波的频率接近半导体的等离子体频率，太赫兹表面等离子体波在

8、半导体表面传播距离越短，在半导体中衰减距离越长。同时分析了半导体表面和内部有缺陷时对太赫兹表面