基于人工表面等离子体模式的太赫兹器件研究

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1、中ｆｉ計《乂麥＾ＣＨＩＮＡ比ＩＡＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＪ硕±学位论文ＭＡＳＴＥ民ＩＨＳＳＥ民ＴＡＴＩＯＮ基于人工表面等离子体模式的太赫兹器件研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＴｅｒａｈｅｒｔｚＤｅｖｉｃｅｓＢａｓｅｄＳｏｏｆｐＳｕｒｆａｃｅＰｌａｓｍｏｎＭｏｄｅｓ作者张裕生＾导师韩张华研究员学科检测技术与自动化装置＇，ｒ＇＇：中国计量大学—、二〇．六年六月ｎ？？－．、．ＩＩＹ，＇＇駐，

2、，Ｆ，＇，貫■－．ｆ去．苗ｅ＞－ｒ、＼独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研巧工作和取得的研究成果，除了文中将别加臥标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写巧的硏究成果，也不包含为获得中国计量大学或真他教育机构的一学位或证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研巧所做的任何责献均已在论文中作了明婉的说明并表示了谢意。学位论文作者签名：各在寸签字日期：２＾＜＾年月之日寺＾学位论文版权使用授权书

3、本学位论文作者完全了解中国计量大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权中国计量大学可切将学位论义的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编ｌｉＡ供查阅和借文闽在。同解意密学后校适向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘。（保密的学位论学位论文用本授权说明）作者签名；导师签名：７＾签字鳴半日期Ｘ知６月２日签字日期助ｆｔ知Ｚ日ResearchonTerahertzDevicesBasedSpoofSurfacePlasmon

4、ModesByYushengZhangADissertationSubmittedtoChinaJiliangUniversityInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityJune,2016中图分类号TN205;O433.1学校代码10356UDC621密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION基于人工表面等离子体模式的太赫兹器件研究Resea

5、rchonTerahertzDevicesBasedSpoofSurfacePlasmonModes作者张裕生导师韩张华研究员申请学位工学硕士培养单位中国计量大学学科专业检测技术与自动化装置研究方向太赫兹波器件二〇一六年六月致谢光阴荏苒，日月如梭，转眼间研究生生涯即将接近尾声。回顾这两年多来的学习与生活，曾得到过许许多多老师、同学、朋友和家人的热情关怀与无私帮助，值此论文完成之际，向他们表示衷心的感谢和诚挚的谢意！首先，本课题及学位论文是在我的导师韩张华研究员的亲切关怀和悉心指导下完成的。两年多

6、来，韩老师严谨的科研态度，渊博的专业知识，精益求精的工作作风，平易近人的人格魅力深深地感染和激励着我。在即将毕业之际，谨向恩师致以最深切的谢意与祝福!本论文从选题到终稿，中间经过了多次的修改，每一个步骤都是在老师的指导下完成的，花费了老师大量的心血和时间，在此我要向我的老师表示深深的谢意与祝福!本论文的完成也离不开实验室的同学和朋友的关心与帮助。我要感谢同门王婷、秦康、刘子烨、陈航、孙雅茹，师弟师妹翟孟飞、史晓梅、吴梦茹，感谢他们在科研过程和生活中给我许多无私的鼓励和帮助。回想在整个论文的写作过

7、程中，虽然有很多的困难，但是有了他们却让我除却浮躁，能够耐下心来完成本论文，时光虽短但是我还是很珍惜这段在一起的岁月。最后还要感谢我的父母和女朋友，在我求学生涯中给予我无微不至的关怀和照顾，始终如一地支持我、鼓励我。张裕生2016年6月基于人工表面等离子体模式的太赫兹器件研究摘要：近年来，太赫兹技术由于其种种优良特性在半导体行业、生物医药卫生、国土安全、食品质量控制及环境检测等各领域都受到广泛应用。随着THz源与探测技术的快速发展，许多新的应用在太赫兹波段有望实现。表面等离子体光子学在光波段受到

8、了非常广泛的研究，其在辐射波导、光学天线、超分辨率成像、光学超材料等方面具有巨大的应用前景与价值。然而由于能够直接支持表面等离子体的金属材料在太赫兹波段的相对介电常数趋向于负无穷大，导致光波段中的这些应用不能直接延伸到该波段。在光滑金属表面刻蚀一维槽阵列或二维孔阵列的结构来支持人工表面波（称之为人工表面等离子体或伪表面等离子体模式）的理论提出已有些年，应用到太赫兹波段的成果还相对较少，尤其是各种器件的设计、加工等。论文主要研究工作主要集中在基于人工表面等离子体模式的太赫兹传感、波导及天线结构等，