压电驱动柔性双摇杆式微夹持器设计与性能研究

《压电驱动柔性双摇杆式微夹持器设计与性能研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、分类号：ＴＮ３８４单位代码：則日密级：＾学号；ａｔａｓｚｓ巧位＇如、邊硕±专业学位论文戀中文论文题目：压电驱动柔性双摇杆式微夹持器设计与忱能研究英文论文题目：ＤｅｓｉｇｎａｎｄＲｅｓｅａｒｃｈｏｎａＮｏｖｅｌＰｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃＤｒｉｖｅｎＭｉｃｒｏｇｒｉｐｐｅｒｗｉｔｈ－ＤｏｕｂｌｅｒｏｃｋｅｒＭｅｃｈａｎｉｓｍｓ申请人姓名：武敏指导教师；魏燕定合作导师；五专业学位类别；工聘硕±专业学化专业学位领域：机械工程所在学院：化械与动力工程学院论义提《日期２０１５年１

2、月压电躯动柔牲双摇抒式微夹持器设计与性能研究－？论文作者签名：巧沁指导教师签名：论文评阅人ｉ：评阅人２：评阅人３：评阅人４：评阅人５：答辩委员会主席：徐兵＼教授＼浙江大学委员１：＼教授＼浙江大学魏燕定委赏２：何闻＼教授＼浙江大学委员３：李培玉＼副教授＼浙江大学委员４：委员５：答辩曰期：２０１５．０３．１３浙注大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。＾１乂标注和致谢的地方外除了文中特别加，论文中

3、不包含其他人己经发表或撰写过的研究成一果。，化不包含为获得浙江大学或其他教育化构的学位或证书而使用过的材料与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。：：学位论文作者签名签字日期７＾１５＾０）月学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江大学有权保留并向国家有关部口或机构送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阐和借阅。本人授权浙江大学可Ｌ义将学位论文的全部或部Ｌ分肉容编入有关数据库进行检索和传播，可义采用影印、缩印或担描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名

4、：导师签名：■：／签字曰期：／曰＞１厂年口月曰签字曰期＾１年ｉ月３５）浙江大学硕±学位论文致谢致谢光阴似箭，两年半的研究生求学生涯己经按近尾声。在人生中非常关键的几年里，魏燕定老师在科研，学习，生活中给了我诸＃指导，在我迷茫时给我指点正确的方向，在我陷入困难时又倾力帮助，这些都让我印象深刻且收益匪浅，在此对魏老师的无私帮助和关＜。给予最高的敬意。本论文的顺利完成，离不开魏老师的悉记指导，从最初的课题确定、科研思路的把握、巧间进度的安排，到实验方案的展开、学位论文的撰写上，魏老师都给予我最大的帮助、。正是在魏老师的长期指导下，我才渐渐养成良

5、好的思维习惯。我衷吃祝一福魏老师身体健康，生活愉快，家庭幸福，事业更上层楼。同时我也要感谢现代制造工程研究所的何闻教授、李培玉副教授，感谢他们给予我力所能及的帮助。感谢我的师兄杨依领博去、类军强博去、高平波硕壬、许俊龙硕击、周冠雄硕壬、陈、、、、德坤硕ｉ杨宇峰硕击谢锋然硕去李浩浦硕壬，感谢我的同窗好友林晨阳硕去傅霄博壬、，感谢师弟西巧博ｉ、赵晚伟硕去邹云龙硕±、金立帅硕去、储橡原硕去，感谢他们传授给我为人做事的经验，并给我树立了良好的榜样。求知的路上并不孤独，在浙大我收获了真诚的友谊，感谢跟我并肩作战的赵勇硕去、？于昂可硕去、何志峰硕击、姜水燕硕

6、主、童章进硕去，兄弟般的友谊永远是我享用不尽的财富，愿友谊她久天长。最后，我要把我最真攀的感情献给我的父亲母亲和姐姐，他化总是在我最需要的时刻给我毫无保留的帮助，默默支持我的生活和学业，本文的顺利完成，希望能让他们有所慰藉。武敏二零一五年一月二十曰于浙大求是园Ｉ浙江乂学巧壬学位论文摘要摘要微机械或微机电系统的发展对微夹持器的性能提出更高要求，离精度的微夹持器是微一纳米技术应用中的巧关键技术，因此对其性能。微夹持器作為执行机构直接与物体接触要求较窝、、。针对目前常规微夹持器整体尺寸大输入输出放大《数小夹持力和夹持位移检测困难的

7、缺点一，本文设计了种压电驱动柔性双摇杆式微夹持器并对该微夹持器的性能进行了相关分析和测试，全文分为Ｗ下几个部分：第一章给出了课题的研究背景和研究意义，综述了微夹持器本体柔顺机构、驱动方式、传感配置的发展和应用状况，接着提出微夹持器设计的目标，并对全文的工作进行了说明。第二章给出了压电驱动柔性双摇杆式微夹持器的结构，阐述了压电柔性双摇杆式微夹持器的工作机理，然后对微夹持器进行数学建模，包括推导了微夹持器放大系数，建立了ａｒａｎｅ１＾微夹持器静力学和基于Ｌｇｇ方程的动力学