含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀研究

《含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、万方数据中图分类号!Hl鱼!UDC62l硕士学位论文学校代码!Q三3三密级垒五含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀研究ResearchoftheTwoPiezoelectricStacksDrivenJetting‘DispenserwithaFlexurebeam作者姓名：学科专业：研究方向：学院(系、所)：指导教师：罗文键机械工程信息器件制造技术与装备机电工程学院邓圭玲论文答辩日期翌!亟盈生日答辩委员会主席中南大学二。一四年五月万方数据学位论文原创性声明本人郑重声明，所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成

2、果。尽我所知，除了论文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得中南大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我共同工作的同志对本研究所作的贡献均已在论文中作了明确的说明。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。作者签名：’∑霎赵疆日期：塑!竺年五月三日学位论文版权使用授权书本学位论文作者和指导教师完全了解中南大学有关保留、使用学位论文的规定：即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版；本人允许本学位论文被查阅和借阅；学校可以将本学位论文的

3、全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用复印、缩印或其它手段保存和汇编本学位论文。保密论文待解密后适应本声明。作者签名：∑篁皇超导师签名Ⅲ煎万方数据含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀研究摘要：点胶是一项重要的微电子封装工艺，而喷射式点胶是目前发展最为迅速的点胶方式，具有胶滴一致性好、生产效率高以及适用范围广等优点。为了实现高频率、高性能的微量喷射点胶，本文设计了一种新型的含柔性放大臂双压电叠堆驱动的喷射点胶阀。本文首先介绍了点胶技术的发展现状以及压电叠堆的相关知识；接着，根据机械碰撞式喷射点胶技术的原理，提出了含柔性放大臂双

4、压电叠堆驱动喷射阀方案，完成了喷射阀结构设计，并对微位移放大机构和流体相关结构进行了详细的设计和分析；然后，为了研究喷射阀喷针的动态特性，建立了喷射阀的数学模型，利用Matlab／Simulink进行了仿真分析，得到了喷针的位移曲线和速度曲线，并分析了驱动电压、铰链刚度、喷针质量等关键参数对喷射阀喷针动态性能的影响；最后，利用喷射阀试制机搭建了点胶实验系统，利用该实验系统完成了喷射阀喷针动态特性、点胶图案、胶滴喷射过程、胶滴尺寸影响规律、胶滴一致性等方面的实验研究。实验结果表明，所设计的含柔性放大臂双压电叠堆驱动喷射阀可以实现最

5、大工作频率200Hz、最小胶滴体积90nL、胶滴一致性士10％以内的稳定喷射点胶，达到了预期效果。关键词：喷射点胶；压电叠堆；柔性放大臂；动态特性分类号：THl61万方数据ResearchoftheTwoPiezoelectricStacksDrivenJettingDispenserwithaFlexureBeamAbstract：Adhesivedispensingisanimportantpartinmicroelectronicpackagingprocessandjettingdispensingtechnologyw

6、ithhi曲consistency,highproductionefficiencyandwiderangeofapplicationpresentlybecomesthefastestdevelopingareasinalltypesofdispensingtechnology．Inordertorealizehighfrequencyandexcellentperformancejettingdispensing，anewkindofjettingdispenserwithflexiblebeamdrivenbytWOpie

7、zoelectricstackswasdesigned．Inthispaper，thedevelopmentprocessandthepresentsituationofdispensingtechnologywasintroducedaswellastherelatedknowledgeofpiezoelectricstack；Then，thedesignschemeofjettingdispenserwithflexiblebeamdrivenbytwopiezoelectricstackswasputforwardacco

8、rdingtotheprincipleofmechanicalcollisionjettingtechnologyandthestmcturedesignofdispenserwascompletedbasedonit，meanwhilethemicro—dis