基于c++程序的平面等厚干涉仪数显精度的研究

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1、分类号：TP3密级：公开专业学位研究生学位论文基于C++程序的平面等厚干涉仪数显精度的论文题目（中文）研究Researchonthedigitaldisplay论文题目（外文）accuracyofplanarandthickinterferometerbasedonC++program研究生姓名张龙学位类别工程硕士专业学位领域计算机技术学位级别硕士校内导师姓名、职称刘刚校外导师单位、姓名甘肃省计量科学研究院高宇海论文工作起止年月2014年8月至2015年9月论文提交日期2015年10月论文答辩日期2015年11月学位授予日期校

2、址：甘肃省兰州市原创性声明本人郑重声明：本人所呈交的学位论文，是在导师的指导下独立进行硏究所。、取得的成果学位论文中凡引用他人已经发表或未发表的成果数据、观点等，均已明确注明出处。除文中己经注明引用的内容外不包含任何其他个人或集体，。对本文的硏究成果做出重要贡献的个人和集体已经发表或撰写过的科研成果，均己在文中Ｗ明确方式标明。本声明的法律贵任由本人承担。誘雜名：立＾＾—日期：心／厶｜＾关于学位论文使用授权的声明本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品，知识产权归属兰州大学。本人完全

3、了解兰州大学有关保存、使用学位论文的规定，同意学校保存或向园家有关部口或机构送交论文的纸质版和电子版，允许论文被查阅和借阅ｉ本人授权兰州大学可［＾将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可采用任何复制手段保存和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或一与该论文直接相关的学术论文或成果时，第署名单位仍然为兰州大学。本学位论文研巧内容；．囚可ｙ？公开□不易公开。，已在学位办公室办理保密申请，解密后适用本授权书＂＂上选项内选择其中一Ｖ）（请在项打论文作者签名：友导师签名：《參

4、戶赠．．日、期：佔＼日期：化＼原创性声明本人郑重声明：本人所呈交的学位论文，是在导师的指导下独立进行研究所取得的成果。学位论文中凡引用他人已经发表或未发表的成果、数据、观点等，均已明确注明出处。除文中已经注明引用的内容外，不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名：日期：关于学位论文使用授权的声明本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品，知识产权归属兰州大学。本人完全了解兰州大学有关保存、

5、使用学位论文的规定，同意学校保存或向国家有关部门或机构送交论文的纸质版和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权兰州大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用任何复制手段保存和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时，第一署名单位仍然为兰州大学。本学位论文研究内容：可以公开□不易公开，已在学位办公室办理保密申请，解密后适用本授权书。（请在以上选项内选择其中一项打“√”）论文作者签名：导师签名：日期：日期：基于C++程序的平面等厚干涉仪数显精度的研究摘要平面度是几

6、何量计量中的一项重要参数，是评定许多计量器具以及机械加工产品的工作面、基准面表面质量的主要技术指标，根据平面度的不同质量要求，其评定方法和所用计量器具多种多样，其中平晶作为平面度测量的实物计量器具和主要标准器，主要用于评定高精度表面质量。为了保证平晶测量结果的准确可靠，平晶自身的平面度必须满足一定的要求，目前对于平晶平面度的测量，国内主要采用平面等厚干涉仪通过光波等厚干涉原理进行测量，该测量原理科学慎密、精度高，但是由于测量过程中采用读数显微镜对干涉条纹进行对线并通过测微鼓轮读数，其测量方法引入的误差较大，而且效率较低。为了克

7、服上述测量方法的局限性，本课题将以严密的测量理论为指导，通过实践对该测量方法中的读数装置部分进行数字化改造，采用高分辨率的CCD摄像技术对干涉条纹进行采集，利用数字图像识别技术和计算机处理软件，通过滤波、检索、细化等方式对采集到的图像进行识别并数据处理，由此计算出平晶平面度；通过分析研究和测试试验以及测量结果不确定度的评定，验证读数装置改造后的测量方法，不仅能够有效减小测量误差，而且测量效率也将得到显著提高。本论文就平面等厚干涉仪的改造，取得了如下创新成果：(1)通过制作连接装置将CCD图像传感器一端与仪器联接，另一端通过数据

8、线和计算机连接，编制计算机程序软件对干涉条纹进行识别和数据处理，以最小成本的改造优化原测量过程，以简单可行的操作程序克服原测量过程的弊端。（2）确定计算机程序软件中平面度判定依据，减小测量重复性误差，提高测量结果的准确性和可靠性。关键词：平面度，图像处理，平面等厚干涉，不确定