基于激光干涉仪导轨位移精度研究

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1、基于激光干涉仪导轨位移精度研究[摘要]：激光干涉仪为机床检定提供了一种高精度仪器，对于数控机床的几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。位置精度的检测及其自动化补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。本课题采用的美国光动公司的多普勒激光干涉仪对数控机床的精度进行测量和补偿研究，其研究成果将帮助技术人员和机床操作人员掌握激光干涉仪的使用方法，并较为及时的、高效地调整机床的精度，从而提高机床的加工精度。在一定程度上对提升国内企业的加工制造精度必将有着深渊影响。[关键词]：激光干涉仪、几何精度、位置精度、

2、测量、调整补偿第4页共51页Title:ResearchonPrecisionMeasurementandAdjustingcompensationofMachineToolsAbstract:LaserInterferometerformachinetoolcalibrationprovidesahighprecisioninstruments,canbeusedtodetectstraightness,squareness,pitchingandswing,plane,parallel,andsoon;locationdetectionpr

3、ecisiondetectionandautomaticcompensationofCNCmachinetoolspositioningaccuracy,repeatability,precisionofmicro-displacement。ThesubjectofUnitedStateslightmovingcompanyDopplerLaserInterferometerinprecisionmeasurementandcompensationofNCmachinetools,theresultsofitsresearchwillhelpt

4、echniciansandmachineoperatorscontrolofLaserInterferometerusingmethodsandmoretimelyandefficientadjustmentaccuracyofmachinetools,soastoimprovetheaccuracyofmachinetools.Inpartonpromotingdomesticenterprisesonprocessingandmanufacturingofprecisionwillhavefar-reachingimplications.K

5、eywords:LaserInterferometer,geometricprecisionandpositionaccuracy,test,adjustingcompensation第4页共51页目录1.绪论51.1学术背景及研究实际意义51.2本课题研究主要内容51.3国内外相关领域的研究现状及发展趋势62.MVC-500多普勒激光干涉仪简介72.1基本概念72.1.1激光特性72.1.2干涉仪测量方式与原理82.1.3多普勒效应82.1.4LDDM原理82.2LDDM的组成及原理92.2.1LDDM简介92.2.2LDDM操作原理102.

6、3MCV-500激光多普勒干涉仪的主要组成及特点112.3.1主要组成112.3.2主要特点122.4MCV-500激光多普勒干涉仪主机测量功能132.4.1直线位移测量功能132.4.2软件分析功能132.4.3补偿功能143.数控机床直线位移的测量与分析143.1数控机床直线位移的测量143.1.1测量条件143.1.2测量步骤153.1.3测量方法173.2直线位移误差分析19第4页共51页3.2.1X轴直线位移分析193.3直线位移精度的补偿调整254.数控机床直线度与垂直度的测量与调整314.1直线度与垂直度的测量原理314.1.1直

7、线度的测量原理314.1.2垂直度的测量原理344.2直线度与垂直度的测量方法354.2.1测量条件354.2.2测量步骤354.3垂直度误差分析404.4垂直度误差补偿调整49致谢50参考文献50第4页共51页1.绪论1.1学术背景及研究实际意义随着数控技术的快速发展和大量应用，数控机床加工精度级别已经成为衡量一个国家工业发展水平的重要标志。数控技术集微电子、计算机、信息处理、自动检测、自动控制等高新技术于一体，具有高精度、高效率、柔性自动化等特点，对制造业实现柔性自动化、集成化、智能化起着举足轻重的作用，因此，数控机床加工精度的研究受到了国

8、内外学者越来越多的重视。数控机床是近几十年来逐渐发展起来的一门新兴学科，它综合了机械、电气、液压、电子等多学科领域的研究成果。数控机床的诞生极大地提高