一体化微型热偶真空计的研究.pdf

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1、论文题目一体化微型热偶真空计的研究专业学位类别工程硕士学号201050501012作者姓名李泞指导教师王占平副教授万方数据分类号密级注1UDC学位论文一体化微型热偶真空计的研究（题名和副题名）李泞（作者姓名）指导教师王占平副教授电子科技大学成都朱丹高工成都国光电气股份有限公司成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称电子与通信工程提交论文日期2012.10论文答辩日期2012.12.12学位授予单位和日期电子科技大学2012年12月日答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。万

2、方数据THERESEARCHOFINTEGRATIONOFMICROTHERMOCOUPLEVACUUMGAUGEAThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectronicsandCommunicationsEngineeringAuthor:LiNingAdvisor:AssociateProfessorWangZhanpingSchool:SchoolofOptoelectronicInformation万方数据独创性声

3、明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名：日期：年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编

4、入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）签名：导师签名：日期：年月日万方数据摘要摘要一体化微型热偶真空计具有测量准确、稳定性高、能连续测量和使用寿命长等特点。随着科学技术的快速发展，航空航天、微电子、核工业等尖端技术领域对粗低真空测量提出了更高的要求。一方面要求测量准确，避免环境对测量结果的影响，另一方面要求真空测试设备携带方便、测试快捷。因此研制适用于特殊现场环境和条件下的便携式、一体化微型热偶真空计具有重要意义。本文基于热偶规真空测量的基本原理，采用数字

5、信号处理技术，对热偶真空计进行了测量范围扩展的研究和减小体积的小型化设计，最终研制了可适应复杂现场环境、体积小、重量轻、便于携带的一体化微型热偶真空计。实测结果表明，该一体化微型热偶真空计的真空测试范围可达到0.01Pa～1000Pa的粗低真空测量范围，最大功率小于10W，工作电源为AC220V±10%/50Hz，工作环境温度可达0～45℃，外形尺寸为100mm×60mm×45mm，重量不到1.5kg。关键词：一体化，微型，热偶真空规，真空计I万方数据ABSTRACTABSTRACTThecharacteristicsofinte

6、gratedthermocouplevacuumgaugeincludehighmeasuringaccuracy,highstability,continuousmeasurementandlongservicelife.Withtherapiddevelopmentofscienceandtechnology,aerospace,microelectronicsindustry,thenuclearindustryandsomeotheradvancedtechnologyhasputahigherdemandonthebas

7、isofcrudelowvacuummeasurement.Ononehand,itrequirestheaccuracyofthemeasurementtoavoidtheimpactoftheenvironmentontheresults.Ontheotherhand,itrequiresaquickrelease,portabilityanduser-friendlyquicktest.Therefore,it’sanurgentneedtodevelopanintegrationofmicrothermocouplevac

8、uumgaugeforportablescenespecialenvironmentandconditions.Thispaperdevelopedanintegrationofmicrothermocoupletransmitterbasedon