《电子科学与技术综合实验设计》教学大纲20130504

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1、《电子科学与技术综合实验设计》课程教学大纲一、课程名称：电子科学与技术综合实验设计SynthesisExperimentsofElectronicScienceandTechnology二、课程编码：三、课程性质：必修四、学时学分：课程总学时：56+2（讲座）+2（项目进展讨论）+4(综合技能测试与评估)总学分：4实验学时:56五、适用学科专业：集成电路工程、软件工程硕士研究生六、本实验课的配套教材、讲义与指导书1、微电子学基础实验讲义2、电子科学与技术专业实验讲义3、集成电路测试技术讲义4、集成电路测试系统使用指南七、实验课的任务、性质与目的：

2、通过让学生对半导体材料及器件、磁性材料与器件、介质材料与器件、太阳能电池光谱特性和综合参数的测量，熟悉相关材料与器件的特性，掌握相关测试仪器的性能及使用方法；通过对磁性材料、介质材料、氧化物半导体材料及元器件的制备和测试，培养学生对相关材料及器件配方设计、制备流程、微观参数测试方法、宏观参数测试分析等相关知识和技能的熟练掌握；通过对集成电路综合参数的分析测试，深入了解集成电路的特性及结构特征，提高学生的动手能力和专业实践技能。上述综合训练内容，也可以根据学生未来课题方向的要求量身定做，为学生们未来项目的深入研究奠定良好的基础。本课程注重学生理论与

3、实践相结合，在培养分析问题、解决问题实际能力的同时，让学生在思维方法方面也得到相应的锻炼与提升。八、实验课的基本理论：固体电子学基础、电磁场与电磁波、微电子工艺学、电子器件与IC设计、电子材料与器件测试技术等。九、实验方式与基本要求所有实验内容为限定选作部分。即基础测试实验部分，五个选做实验中与指导教师协商后选择其中的四个。项目实验部分七个选做项目中与指导教师协商后选择其中的一个。选做实验还可根据学生的研究方向量身定做，必须选一项。1、实际操作：熟悉实验理论及实验仪器的操作，明确实验系统的组成，掌握参数测试方案的制定、测试方法研究、数据记录、数据

4、处理，递交完整的实验报告。2、对量身定做的实验项目要求学生先明确项目要求，在查阅文献的基础上制定项目实验方案，在方案通过论证后进行实验，在实验进行中进行1-2次讨论，及时修正实验中的问题。实验完成后提交项目验收报告。十、考核方式与评分标准基础测试实验根据（实验操作+实验测试结果+实验报告）评分：50%项目实验根据（实验方案+实验过程+项目验收报告）评分：50%。该部分采用答辩打分。十一、实验项目设置与内容提要序实实验每组所在号验类型计划人数主要仪实验室实验项目内容提要要学时器设备求1PN结太阳能电测量电池光生伏特效应的光谱分光光池光生伏特效特性（

5、可见→红外）；完成实验度计应光谱特性及及数据处理；分析影响光伏效应7520型太阳能电池综的种种因素选综合83~5恒温样实验中心合参数测试测试AM1.5、稍小光强下的自制做品台电池的I-V特性以及暗特性；完I-V测试成实验并计算6个重要参数；正仪确评价其特性，分析其成因。函数记录仪2测量硅单晶少子寿命的方法。学单晶少单晶硅及SiO2习四探针法的测量原理；掌握其子寿命综合参数测试测试分析方法并会灵活运用；掌测量仪握硅单晶片及不同尺寸的单面选综合83~5示波器实验中心扩散片的电阻率的测试.用冷做四探针热探针法、单探针点接触整流法测试仪和三探针法测量单晶

6、硅片的导电容电电类型.用BTC-V法测量MOS结压特性构SiO2层中的固定电荷和可动测试仪离子电荷的密度。了解、熟悉半导体器件测试仪半导体器，半导体器件的特性，并测得图示仪器件的特性参数选综合83~5霍尔效实验中心3半导体器件综测量不同材料霍尔元件在常温做应实验合参数测试情况下的不同条件（磁场、霍尔仪电流）下的霍尔电压，并根据实验结果全面进行分析、讨论使用三电极系统测量介电材料的绝缘电阻（体电阻率与表面电阻率）；了解受潮对材料表面电高阻计，电子材料综合阻的影响。选三电极4参数测试了解几种介质材料的介电系数做综合83~5系统实验中心(ε)和介质损耗

7、角正切(tagδ)高频Q表的频率特性；了解电容介质材料在各种频率范围内的测量方法和熟悉Q表的使用；了解接线的长短对介电系数和损耗角正切测量准确度的影响。5了解磁滞回线的测量方法及磁MATS-20磁性材料综合性材料的基本特性。测量静态磁选10SD软参数测试化曲线及磁滞回线并确定材料做综合83~5磁直流实验中心的有关磁参数。测量装置五个选做实验中与指导教师协商后选择其中的四个。序实实验每组所在号验类型计划人数主要仪器设实验实验项目内容提要要学时备室求1PTC材料制设计方案、材料配方设计、配料、电子天平、球备球磨、造粒、成型、烧成、印刷磨机真空干电极、

8、烧渗，微观测试分析，元设计、燥箱、压片件性能指标测试，综合性能评估选研究323~5机、高温烧结实验等。做综合炉、印刷机、中心烧银炉，XR