基于mems微屏蔽线的滤波器-研究

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2、据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名：导师签名：______________日期：年月日0摘要摘要MEMS微屏蔽线是一种采用介质薄膜支撑的传输线结构，其薄膜下方的衬底通过刻蚀形成空气填充的腔体。微屏蔽线能够实现信号的TEM模态传播，与传统传输线结构如CPW、微带线等相比，其在高频条件下仍然具有很小的色散和损耗。同时，通过调节微屏蔽线中的结构参数，能够实现较大的阻抗变换范围。滤波器作为现代通信系统中的重要组成部分，可以用来滤除噪声和不需要的信号，基于微屏蔽线的滤波器研究将使工

3、作在高频条件下的电路得到明显改善。本文主要研究基于微屏蔽线的滤波器设计，在分析微屏蔽线特性的基础上，利用其实现了常用的低通、带通、带阻滤波器，并且研究了一种新型的折叠短截线滤波器。本文的主要内容包括以下内容：1.对微屏蔽线的传输特性的研究。介绍腔体具有倾斜角的微屏蔽线的基本结构，利用保角变换分析微屏蔽传输线的单位长度电容值，计算其特征阻抗和相对介电常数，研究侧壁倾斜角对微屏蔽线传输特性的影响。同时利用HFSS仿真分析，将微屏蔽线的特性与传统的CPW进行对比，分析其与结构参数之间的关系。2.研究微屏蔽线中不连续结构的特性及其与CPW之间的转换结构。研究

4、常见传输线结构如开端短截线、短接短截线、直角弯折结构的传输特性，为滤波器的设计奠定基础。同时分析了微屏蔽线与CPW之间的转换结构，研究微屏蔽线与CPW的匹配问题。设计微屏蔽线与矩形波导的转换结构并研究其加工流程。3.基于微屏蔽线进行滤波器设计。在研究微屏蔽线传输特性的基础上了，利用阶跃阻抗的方法设计140GHz的低通滤波器，分别利用级联开端短截线和耦合传输线的方法设计中心频率为45GHz的带通滤波器，利用级联短接短截线的结构设计140GHz带阻滤波器，针对微屏蔽线尺寸较大的问题，研究了利用弯折中心导体实现滤波器小型化的方法。最后，介绍了滤波器的加工流

5、程。关键词：微屏蔽，传输线，滤波器，薄膜IABSTRACTABSTRACTMEMSmicroshieldtransmissionlineisastructuresupportedbydielectricmembrane,andthesubstrateunderthemembraneisetchedtoformacavityfilledwithair.MicroshieldtransmissionlinecanrealizetheTEMmodepropagationofsignalinawidefrequencyrange,anditisstillch

6、aracterizedbylowlossandsmalldispersionundertheconditionofhighfrequencycomparedtotraditionaltransmissionlinestructuressuchasCPWandmicrostrip.Bychangethestructureparametersofmicroshieldline,italsocanrealizealargerangeofvariableimpedance.Filterscanfilteroutnoiseandunwantedsignalsf

7、orthecommunicationsystem,andisanimportantpartofit.Andstudyoffilterbasedonmicroshieldtransmissionlinecanimprovetheperformanceofcircuitsworkingunderhighfrequency.Thisthesismainlypaysattentiontothedesignoffilterscomposedofmicroshieldtransmissionline,andonthebasisofanalyzingthechar

8、acteristicofmicroshieldtransmissionline,designslow-pas