基于vee的mems滤波器在片测试系统

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1、为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设备安装到位后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。基于VEE的MEMS滤波器在片测试系统　　摘要：MEMS滤波器具有小型化、低插损、高带外抑制等优点，是微波通信系统研究的重要方向之一。随着MEMS滤波器需求量的不断增加，传统的手动测试筛选方式已经不能满足多通道组件装配的需求。本文采用AgilentVEE作为软件开发平台，设计了一种MEMS滤波器自动测试系统。该系统实现了滤波器在片微波测试和数据自动存储，能够满足大规模测试的要求。　　关键词：AgilentVEE

2、；MEMS滤波器；在片测试系统　　中图分类号：TP273文献标识码：A文章编号：1007--0124-02　　MEMSFilterOnWaferTestSystemBasedonVEE　　MaJie，SunTianling，YangZhihu，ZhangLijiang，CuiYuxing　　　　Abstract：TheMEMSfilterhasgoodqualityinminiaturization，lowinsertionlossandhighbandrejection，whichisoneoftheimportantdirectionsintheresearchofmicrowav

3、ecommunicationsystem.AstheincreasingdemandofMEMSfilter，thetraditionalmanualtestingalreadycan'tmeettherequirementsofmulti-channelmoduleassembly.Thisletterjustly为了充分发挥“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备的作用，我们不仅把资源运用于课堂教学，还利用系统的特色栏目开展课外活动，对学生进行安全教育、健康教育、反邪教教育等丰富学生的课余文化生活。为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设

4、备安装到位后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。introducesawaytorealizeMEMSFilterautomatictestsystembasedonAgilentVEEsoftwareplatform.Thissystemsolvestheonwafermicrowavetest，automaticdatastorage，andhasagoodprospectinlarge-scaleMEMSfiltertest.　　KeyWords：AgilentVEE；MEMSfilter；onwafertestsystem　　�V波器在

5、信号传输链路中起着频率选择作用，是微波通信系统中必不可少的组成部分。随着单片微波集成电路的发展，传统滤波器已经无法满足射频微波组件小型化的要求。MEMS滤波器不仅具有低的插入损耗、高的Q值和良好的带外抑制，而且在体积和可集成性上具有明显的优势，是微波选频元件的热门研究方向[1-3]。　　MEMS滤波器在使用前需要进行测试筛选，判断其指标是否满足要求。传统筛选方法采用手动测试和记录数据，测试效率低，无法满足大批量产品的供货要求。本文正是基于此开展研究，通过VEE程序实现探针台控制、S参数提取计算和测试数据存储。测试过程完全自动化，生成数据实时显示，并自动保存到相应的文件夹。　　1测试系统

6、的组成　　测试系统由探针台、测试仪器和控制电脑三部分组成，采用GPIB接口进行通信。在测试过程中，通过Agilent为了充分发挥“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备的作用，我们不仅把资源运用于课堂教学，还利用系统的特色栏目开展课外活动，对学生进行安全教育、健康教育、反邪教教育等丰富学生的课余文化生活。为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设备安装到位后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。VEE程序对系统各组成部分进行控制和数据交换，计算滤波器参数，最后以s2p和Excel格式进行数据存储。　　硬件

7、部分　　测试系统采用GPIB总线进行通信控制[4]，按照图1方式进行连接，实现硬件控制和数据采集功能，图中粗实线表示微波通路，虚线表示GPIB控制通路。测试系统中矢量网络分析仪提供射频信号激励和S参数测量，微波探针台进行移动控制和压针，测试计算机用于系统控制、数据交换和存储。　　软件部分　　软件平台　　AgilentVEE与NILabVIEW是目前两大主流的虚拟仪器编程开发平台[5-6]。AgilentVEE与本系统采用的矢量网络分析仪具有良好