氧化铜-锆复合膜的制备与性能表征研究

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1、南京理工大学硕士学位论文氧化铜-锆复合膜的制备与性能表征研究姓名：崔庆华申请学位级别：硕士专业：军事化学与烟火技术指导教师：沈瑞琪20070601摘要本文采用金属zr靶和CuO陶瓷靶，利用磁控溅射法制备了zr薄膜和CuO薄膜，研究了不同工艺条件对薄膜质量性能和制备薄膜的沉积速率的影响，得到了zr薄膜和CuO薄膜的最佳制备工艺条件。利用扫描电子显微镜(sEM)、能谱分析(EDs)、X射线衍射仪(XKD)等分析手段对薄膜的微观形貌、成分和相组成进行了研究，结果表明制各的薄膜光滑致密，成分和靶材基本一致．薄膜均为晶相结构。在最佳工艺条件下制备了zr

2、薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr复合膜，并对薄膜进行了光声光谱的检测和分析。结果表明zr薄膜、CuO薄膜和CuO-Zr复合膜的光声波谱的波形基本上一样。先出现一个负峰，然后出现一个正峰。随着入射激光束能量的升高，同种薄膜的光声波谱的峰值增大。在相同入射激光束能量下，CuO薄膜的光声波谱的峰值大于Zr薄膜的：CuO-Zr复合膜的光声波谱的峰值大于zr薄膜和CuO薄膜的，峰值间的差值为zr和CuO之问发生的氧化还原反应产生的热量所致。关键词：磁控溅射复合膜光声光谱反应性光声谱ABSTRACTThisthesisisattemptingtoprove

3、thatthebestpreparationconditionshavebeenachievedfromtheexperimentsontheeffectsofthedifferentoperatingconditionsOntheperformaneesofthefilmsanddepositionrate．TheseexperimentsadoptedmetallicZrtargetandceramicCuOtargettopreparezrfilmsandCuOfilmsbymeansofmagnetronsputtering．Them

4、orphology,chemicalcompositionandphaseconstitutionofthepreparedfilmswereanalyzedthroughSEM．EDSandXRD．Tberesultsshowthatthefilmsweresmooth,thatthechemicaleompositiunsofthefilmsWerebasic．aUythe爱蚰easthoseofthetargets．andthattbefilmswgqrecrystal．111cphotoacousticspectrumsofZrfil

5、ms。CuOfilmsandCuO-Zrfilmswhich、黼preparedunderthebestpreparationconditions，wereexaminedandanalyzed．ⅡleresultsshowthatthephotoacoustiespectrumsofthesefilmsWerebasicallythesa．tnewithanegativewavecrestcomingfirstandthenapositiveone．Forthesamefilm，thepeakvalueofthephotoaenusties

6、pectrumlosewiththeincreaseofthelaserenergy．ExposedtOthesanleamountoflasererlergy,thepeal【valueoftheCuOfilmWasgreaterthanthatoftheZrftlm,andthepeal【valueoftheCuO-Zrfilmwasgreaterthanthatofthesinglefilm。Thedifferencesofthepeakvalueswereprovedtoberesultingfromtheebemiealreacti

7、onheatbetweentheZrfilmandtheCuO6lm．Keyword：magnetronsputtering,compoundti／m,photoacoustiespectrum,reactivityphotoacoustiespl∞tl'umⅡ声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。研究生签名：年月日学

8、位论文使用授权声明南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以向有关部门或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布