飞秒激光辐照下薄膜材料表面微纳结构的快速成型

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1、万方数据中图分类号：UDC：学校代码：10055密级：公开高盐夫淫硕士学位论文飞秒激光辐照下薄膜材料表面微纳结构的快速成型一●●一·^一●Rap1dformationofsurfiacemlcrostructuresonthinfilmsbyfemtosecondlasers学科专业迸堂工猩答辩委员会主席筮瞳壅研究方向飞型邀堂邀左日王评阅人筮堕盔韭植南开大学研究生院二O一四年五月万方数据万方数据南开大学学位论文使用授权书根据《南开大学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》，我校的博士、硕士学位获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。本人

2、完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开大学拥有在《著作权法》规定范围内的学位论文使用权，即：(1)学位获得者必须按规定提交学位论文(包括纸质印刷本及电子版)，学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生学位论文，并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》；(2)为教学和科研目的，学校可以将公开的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读，在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务；(3)根据教育部有关规定，南开大学向教育部指定单位提交公开的学位论文；(4)学位论文作者授权学校向中国科技信息研究所及其万

3、方数据电子出版社和中国学术期刊(光盘)电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库，通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文，保密期限内不向外提交和提供服务，解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站：http：／／202．113．20．163：8001／paper／index．jsp。本人承诺：本人的学位论文是在南开大学学习期间创作完成的作品，并已通过论文答辩；提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致，如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式

4、两份，由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字：周剑雄2014年5月24日南开大学研究生学位论文作者信息论文题目飞秒激光辐照下薄膜材料表面微纳结构的快速成型姓名周剑雄学号2120110226答辩日期2014年05月24日论文类别博士口学历硕士■硕士专业学位口高校教师口同等学力硕士口院／系／所电子信息与光学工程学院专业光学工程联系电话18920736303Emailxingduduxing@163．com通信地址(邮编)：天津市南开大学现代光学研究所伯苓楼05室(3000711备注：是否批准为非公开论文否注：本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。

5、由作者填写(一式两份)签字后交校图书馆，非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。万方数据南开大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的研究成果。除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名：周剑雄2014年5月24日非公开学位论文标注说明(本页表中填写内容须打印)根据南开大学有关规定，非

6、公开学位论文须经指导教师同意、作者本人申请和相关部门批准方能标注。未经批准的均为公开学位论文，公开学位论文本说明为空白。论文题目申请密级口限制(≤2年)口秘密(≤10年)口机密(≤20年)保密期限20年月日至20年月日审批表编号批准B期20年月日南开大学学位评定委员会办公室盖章(有效)注：限制★2年(可少于2年)：秘密★10年(可少于10年)：机密★20年(可少于20年)万方数据摘要本论文主要针对飞秒激光在薄膜材料表面诱导产生微纳结构的过程进行研究，具体工作如下：1)实验研究了飞秒激光对硅基金膜表面的烧蚀过程，给出了激光通量和脉冲重叠数目对金膜表面形貌、

7、破坏面积和阈值的影响规律；同时，采用单个飞秒脉冲在金膜表面形成点状凸起结构，分析认为这是由于飞秒激光在金膜与衬底硅之间造成冲击压强使得物质喷射形成的。2)研究分析了单束中心波长为800nm的飞秒激光在铬膜表面诱导产生微纳结构的物理过程，实验获得了排列方向平行和垂直于入射飞秒激光偏振方向的条纹结构，其中前者条纹突起且具有650nm的空间周期，称为浮雕型Type—C条纹；后者空间周期约为100nm，称为深亚波长条纹。其中我们重点研究了Type—C条纹结构产生所需的实验形成条件，以及激光参数、薄膜属性和衬底材料等对其影响情况。初步分析认为Type—C条纹结构的

8、形成是由衬底界面反射光场和薄膜中金属颗粒诱导产生的表面等离子体波(SPPs)发生