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1、第2卷第1期微电子期刊Vol.2No.12012年3月ScientificJournalofMicroelectronics(SJM)Mar.2012∗高效HIT太阳能电池的最新发展状况1,212111111乔秀梅，贾锐，侯登录，丁武昌，崔冬萌，陈晨，孟彦龙，张代生，刘新宇1中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室，北京1000292河北师范大学物理科学与信息工程学院，河北石家庄050024摘要：带有本征薄层的异质结（HeterojunctionwithIntrinsicThinfilm（HIT））太阳能电池起源于Hamakawaetal.设计的a-Si/
2、c-Si堆叠太阳能电池，与单晶、非晶硅太阳能电池相比，其具有低温工艺，高的稳定性等优点，具有广阔的发展前景。本文介绍了HIT太阳能电池的基本结构和能带并对其特点进行了深入的分析，根据相关文献从清洗，透明导电氧化层（TCO）的制备，非晶硅层的制备，背表面场的制备等方面深入分析了HIT太阳能电池的技术发展状况，并以三洋公司为引线，简单介绍了HIT太阳能电池的产业发展现状。关键词：HIT；太阳能电池；结构；特点；技术发展；产业发展TheNewDevelopmentStatusoftheHighEfficiencyHITSolarCell1,2121111XiumeiQ
3、iao,RuiJia,DengluHou,WuchangDingDongmengCui,ChenChen,YanlongMeng,11DaishengZhang,XinyuLiu1LaboratoryofMicrowaveDevicesandIntegratedCircuits,InstituteofMicroelectronicsofChineseAcademyofSciences,Beijing,China,1000292CollegeofPhysiesScienceandInformationEngineering,HebeiNormalUniversit
4、y,Shijiazhuang,Hebei,China,050024qiaomei.hi@163.comAbstract:HeterojunctionwithIntrinsicThinfilm(HIT)solarcellsoriginatefroma-Si/c-SistacksolarcelldesignedbyHamakawaetal.Comparedwithconventionalsiliconsolarcells,HITsolarcellshavetheadvantagesoflow-temperaturefabricationprocessandhighs
5、tability,withbroadprospectsforthefutureapplication.ThepaperfirstintroducesthestructureofHITsolarcellsandtheheterojunctionbandstructure,anddeeplyanalyzestheircharacteristics.Thenbasedonrelevantliterature,thesituationoftechnologydevelopmentoftheHITsolarcellsisillustratedfromthefollowin
6、gaspects:wafercleaning,preparationoftransparentconductingoxides(TCO),depositionmethodofamorphoussiliconlayer,andinvestigationofthebacksurfacefield.Finally,wetakeaviewattheindustrializationstatusoftheHITsolarcellswiththecasestudyofSanyoCompany.Keywords:HIT;SolarCell;structure;characte
7、r;technologydevelopment;industrydevelopment引言随着能源的紧缺以及人们对友好型环境的要求，太阳能作为一种清洁能源及其可再生性成为人类的首选能[1]源。随着1954年第一块c-Si太阳能电池问世以来，光伏产业越来越受到人们的瞩目。太阳能行业迅速发展，于[2]1974年在美国RCA实验室诞生了第一块非晶硅太阳能电池。目前，硅太阳能电池仍占据着光伏市场的主导地位。晶体硅太阳能电池效率较高，稳定性好、资源丰富，但其制备工艺复杂，材料价格昂贵，且其制作温度较高。而非晶硅太阳能电池成本较低，可以大面积生产，但非晶硅材料本身缺陷较多，
8、太阳能电池效率偏低，且因
