脉冲磁控溅射制备mgzro复合介质膜的结构与性能

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1、摘要论文题目：专业：研究生：指导教师：脉冲磁控溅射制各MgZrO复合介质膜的结构与性能材料学何美荣赵康教授摘要签名：交流等离子显示器(hCPDP)具有主动发光、屏幕大、体积薄、重量轻、易于实现全彩色化显示等优点，是大屏幕高清晰度壁挂电视的首选产品。但也存在价格高，功耗大以及发光效率低等一系列问题，这就需要从结构设计、材料与制各工艺等方面加以改进。由于介质保护膜直接和放电气体接触，其材料种类、结构和性能的优劣对于降低ACPDP的成本和功耗、提高ACPDP的放电效率、改进ACPDP的放电性能起着决定性的作用。由于还没有发现比MgO薄膜性能更优异的介质保护膜，对MgO介质保护

2、膜进行复合改性成为目前国内外主要研究方向。此外由于脉冲磁控溅射制备的介质保护膜具有优异的综合性能，成为研究热点，因而本文系统研究脉冲磁控溅射法沉积MgO复合薄膜结构与性能。本论文采用脉冲磁控溅射沉积MgZrO薄膜，研究zr含量、基板负偏压和非平衡磁控溅射对复合介质保护膜的化学组成、结晶取向、表面形貌、残余应力和透射率的影响规律，对实验结果进行了较为系统的分析和讨论，获得了具有重要参考价值的研究结果。实验发现，Zr含量、基板负偏压和非平衡磁控溅射对MgZrO薄膜的结构和性能有显著影响。当zr含量为2．03at．％、基体偏压为一150V时薄膜具有最强的(200)结晶取向、最

3、小的晶粒尺寸以及最低的表面粗糙度，薄膜孑L隙率低，薄膜还具有高的残余压应力和高可见光透射率；与平衡磁控溅射相比采用非平衡磁控溅射沉积的复合介质保护膜具有更高的氧含量，薄膜表面更光滑、组成颗粒更细小，透射率显著提高。本论文所得研究结果，对ACPDP介质保护膜的选材、制备工艺参数的优化具有实用价值和指导意义。关键字：介质保护膜；脉冲磁控溅射；偏压；残余应力：透射率ABSTRACTTitle：THEMICROSTRUCTUREANDPROPERTIESOFMgZrOCoMPOSITEPROTECTIVELAYERDEPOSITEDBYPULSEDMAGNETRONSPUTTE

4、RINGMajor：MaterialsScienceName：HeMeirongSuperadvisor：ZhaoKangAbstractSignature：Signature：坐兰zAlternatin2CurrentPlasmaDisplayPanel(ACPDP)iSakindofflatpaneldisplaywhichemitslightbygasdischarge．ButACPDPhasdefectssuchaslightemissioninefficiency,highpriceandpowerconsumption．Soitisnecessarytoma

5、keimprovementsinstructure，matedal，andmanufacturemethod．TheprotectivelayercontactsdirectlywiththedischargegasfilledinACPDP．Itsmatedals．microstructureandperformancenotonlydeterminethelife—timeofthedevices．butalSOactasoneofthecrucialfactorsforACPDPinthereductionofcostandpowerconsumption．Upt

6、onowthereisnosuitablematerialthatactingasprotectivelayerinACPDPiSbetterthancommonlyusedMgOfilms．SoitiSthemainwaytoimprovementMgOprotectivelayerthroughaddingotheroxides．Ithasbeenproventhattheprotectivelayerdepositedbypulsedmagnetronsputteringhasgoodproperties．Sothemicrostructureandpropert

7、iesofcompositeMgOfilmdepositedbypulsedmagnetronsputteringwerestudied．nepulsedmagnetronsputteringmethodwasusedtodepositMgZxOcompositeprotectivelayer．．IkeffectofZrdopingcontent，substratebias，andunbalancemagnetronsputteringonthemicrostructureandpropertiesofcompositefilmswere